Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5x #9269734 zu verkaufen

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KLA / TENCOR ASET F5x
Verkauft
ID: 9269734
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
Film thickness measurement system, 12" (2) Load ports Handler, 8"-12" Operating system: Windows XP Service Pack 3 2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die verwendet wird, um genaue und zuverlässige Messungen für die Halbleiterindustrie bereitzustellen. Dieses System bietet skalierbare Lösungen für eine Vielzahl von Anwendungen, wie fortschrittliche Logik- und Speichertechnologien. Das F5x ist eine vollautomatische Vision-gesteuerte Robotereinheit, die einen hohen Datendurchsatz und eine hohe Datengenauigkeit ermöglicht. Das F5x verfügt über eine 5X-optische Vergrößerungsmaschine mit großer FOV-Messfähigkeit (Field-of-View) und kleiner Auflösung der Funktionen bis zu 5 um, so dass das Werkzeug eine breite Palette von Daten und Querschnittsscans erfassen kann. Die Anlage ist auch in der Lage, eine breite Palette von elektrischen Parametern wie Waferwiderstand, Kapazität und Leckagewerte zu messen. Das F5x umfasst eine Reihe hocheffizienter, zuverlässiger und modularer Komponenten, wie einen Multilib-Roboter zum schnellen Be- und Entladen, ein Hochgeschwindigkeits-Autofokus-Objektiv zur genauen Ausrichtung von Testpunkten und ein feldprogrammierbares Array (FPGA) für komplexe Bildverarbeitung. Darüber hinaus bietet das Modell verschiedene optionale Komponenten und Detektoren für unterschiedliche Anwendungsanforderungen. KLA hat die F5x Ausrüstung mit einer umfassenden Software-Suite entwickelt, um Skalierbarkeit, Erweiterbarkeit und Benutzerfreundlichkeit zu ermöglichen. Die Software-Suite bietet fortschrittliche Programmierwerkzeuge und -module zur Hochgeschwindigkeitsanalyse und Kontrolle der Messergebnisse. Softwareseitig ist das System in der Lage, eine flexible, wiederholbare und zuverlässige Testmethode mit Datenerfassung und -speicherung anzubieten. TENCOR F5x Einheit ist so konzipiert, dass sie den hohen Serienanforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Die Nutzung der F5x Maschine wird schnelle Durchlaufzeiten, niedrigere Betriebskosten und verbesserte Ertrags- und Prozesskontrolle bieten. Mit diesem Tool können Hersteller die Geräteleistung optimieren und die Gesamtprozesseffizienz verbessern.
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