Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5x #9300883 zu verkaufen

KLA/TENCOR ASET F5x ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur genauen Analyse und Messung von Halbleitermerkmalen auf Wafern verwendet wird. Speziell verwendet das System fortschrittliche Bildgebungs- und Mustererkennungstechnologie, um kleindimensionale Merkmale auf Halbleiterwaferoberflächen zu erkennen, zu messen und auszuwerten, um eine hohe Qualität und Genauigkeit in der Produktion zu gewährleisten. Die Einheit besteht aus einer Reihe von Einzelkomponenten, darunter einer optischen Mikroskopiestation, einer Probenbewegungsstation, einem umfassenden Bild- und interferometriegestützten Metrologielabor sowie einer automatisierten Verfahrensentwicklungs- und Verifizierungsmaschine. Die optische Mikroskopiestation innerhalb der UCK- ASET-F5X nutzt eine adaptive Optik, um den Kontrast und die Auflösung der hergestellten Funktionen zu verbessern und die aufgenommene Bildqualität zu optimieren. Aus den mit dieser Station erzeugten hochauflösenden Bildern nutzt ein Computerwerkzeug eine fortschrittliche Mustererkennungstechnologie, um Schlüsselmerkmale kleiner Halbleitermerkmale zu identifizieren, zu messen und zu analysieren. Die Beispielbewegungsstation des Geräts bietet eine genaue Bewegungssteuerung, um eine korrekte Waferausrichtung, hohe Effizienz und Wiederholbarkeit für Tests an verschiedenen Standorten sicherzustellen. Darüber hinaus ermöglicht diese Station dem Modell auch eine schnelle berührungslose Oberflächenformelementmessung. Das umfassende Labor für Bildmesstechnik bietet präzise Maßmessungen von markanten Linien- und Pitch-Merkmalen auf dem Wafer. Dies beinhaltet die Möglichkeit, sowohl lokale Linienmerkmale zu charakterisieren, einschließlich Überbrückung, Breite und Höhe, als auch globale Linienmerkmale wie Schritthöhe und Linienbreite Gleichmäßigkeit. Die automatisierte Methodenentwicklung und Verifikationsausrüstung trägt dazu bei, Genauigkeit und Wiederholbarkeit während des gesamten Testprozesses sicherzustellen. Dies geschieht durch die Integration von fortschrittlicher Optik und Rechenintelligenz, um Fehler von Funktionen schnell zu bewerten und zu reagieren. Darüber hinaus bietet TENCOR ASET F 5 X eine Vielzahl optionaler Module und Pakete, um seine messtechnischen Fähigkeiten für kundenspezifische Lösungen weiter zu verbessern. Dazu gehören Module für die Breitbild-Bildgebung, hochauflösende Inspektion, kritische Maßmessung und Fehlerinspektion. Abschließend ist KLA ASET F5x ein umfassendes Wafer-Prüf- und Messsystem, das fortschrittliche Bildgebungs- und Mustererkennungstechnologie verwendet, um kleine Halbleitermerkmale auf Wafern zu erkennen und zu messen, um eine hohe Qualität und Genauigkeit in der Produktion zu gewährleisten. Mit einer breiten Palette an optionalen Modulen und Paketen zur Auswahl ist das Gerät für den Einsatz in verschiedenen Branchen anpassbar.