Gebraucht KLA / TENCOR ASET F5x #9361861 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9361861
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
Film thickness measurement system, 12"
Insert type: Conversion, 8"
Data transfer: Floppy Disk Drive (FDD) / DVD R/W
Operation: Mouse and keyboard
Emergency button cover: Recessed type
Door interlock
Recipe auto backup
Auto data deletion
Auto error log file save and classification
Queued loading (Queue recipe)
Operating system: Windows XP
Spectroscopic ellipsometer
Spectrometer
Wavelength of light source: 220~800 nm
Spot size for thickness and RI: < 40μm
Spot size for reflectivity: < 40μm
Mapping function: 2D and 3D
Pattern recognition
Recipe copy with film library
SE and DBS Optics
Optic lens: 1x, 2x, 4x, 15x
Pattern score: FA
Location screen: Visualize on one screen
Pattern recognition image / Measurement site save
Spectrum save function (Save all at once)
Spectrum save and auto deletion
Recipe / Library import: On-time intromit at TCP/IP
AMHS
Signal tower
Wafer breakage
Options:
GEM SEMI E30-98
SECSⅡ SEMI E5-93
Recipe generator
Remote access capability
Light tower
Carrier ID, 12"
Safety shield, 12"
Light tower
HSMS Communication
Recipe generator
S3 Handler
Controller:
CPU: Pentium 4 3.0 GHz
Memory: 1.024 G Byte DRAM
(2) Hard Disk Drives (HDD): 80 GB missing
2001 vintage.
KLA/TENCOR ASET F5x ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um Daten mit hohem Durchsatz und hoher Zuverlässigkeit für die Halbleiterherstellung zu liefern. Dieses System ermöglicht es Benutzern, Wafereigenschaften, einschließlich dielektrischer Eigenschaften, Materialzusammensetzung und Materialgleichförmigkeit, bei minimalem manuellen Eingriff schnell auszuwerten. Das KLA ASET-F5X Modell wurde entwickelt, um dielektrischen Leckstrom, Widerstand und Kapazität von Proben auf verschiedenen Teststrukturen im Rahmen der Inline-Messtechnik oder elektrischen Tests schnell und genau zu erfassen und zu messen. Dieses Gerät bietet schnelle, zuverlässige Messungen mit Übertreibungsabstoßungsraten von über 99,99%. Ein leistungsfähiger integrierter Prozessor verwaltet die Messdaten und Benutzer können mehrere Testvorrichtungen und -verfahren als Teil einer voreingestellten Bibliothek speichern. Das Gerät ist mit einem kompakten Benchtop-Design konstruiert, so dass es ideal für die Integration in bestehende Halbleiter-Fertigungslinien ist. Die Maschine verfügt über ein hochauflösendes, radiales Laserausrichtwerkzeug, eine programmierbare Schwingungsisolierungsplattform und einen vierrädrigen, motorisierten Spindeltisch für eine effiziente Wafer-Positionierung. Dies ermöglicht eine präzise und wiederholbare Musterpositionierung und -ausrichtung, wodurch die Zeit reduziert wird, die benötigt wird, um die Proben um das Asset zu bewegen. Neben seinen leistungsstarken Funktionen ist TENCOR ASET F 5 X auch mit Sicherheitsfunktionen ausgestattet. Das Modell bietet vollen Überspannungsschutz, lokale Verriegelungen und Kurzschlussschutz, um die Sicherheit der Bediener und der Gerätehardware zu gewährleisten. Es kommt auch mit einer mobilen Not-Aus-Einheit und einem integrierten Netzteil für einen einzigen Punktanschluss. KLA/TENCOR ASET-F5X ist eine ideale Wahl für Anwender, die schnelle, zuverlässige und genaue Wafertests und Messtechnik benötigen. Es bietet einen überlegenen Durchsatz und Wiederholbarkeit sowie branchenführende Sicherheitsfunktionen und ist somit eine ideale Wahl für Halbleiterherstellungseinrichtungen, die ihren Betrieb optimieren möchten.
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