Gebraucht KLA / TENCOR Candela CS1 #9399871 zu verkaufen

ID: 9399871
Weinlese: 2007
Inspection system 2007 vintage.
KLA Candela CS-1 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Das System bietet hochauflösende optische Inspektion von Wafern und integrierten Schaltungen (IC), um Partikel, Defekte und andere Anomalien zu erkennen. Es verfügt über eine automatisierte Wafer-Handhabungseinheit, fortschrittliche Beleuchtungssysteme und Hochgeschwindigkeits-Bilderfassung. Die Maschine umfasst auch Bildanalyse und Klassifizierungssoftware, um kleine Partikel, Defekte und andere Anomalien zu erkennen. Die Candela CS-1 ist modular aufgebaut und ermöglicht es Benutzern, das Tool individuell auf ihre spezifischen Anforderungen zu konfigurieren. Das Asset verfügt über mehrere Beleuchtungsoptionen zur Verbesserung der Wafer-Bildgebung und Fehlererkennung. Diese Beleuchtungssysteme umfassen Hellfeld, Dunkelfeld, Kantenbeleuchtung, polarisiertes Licht und ultraviolette Beleuchtung. Das automatisierte Wafer Handling Modell ist für hohen Durchsatz ausgelegt und ermöglicht eine automatische Waferreinigung und Waferbelastung. Die Ausrüstung ist auch erweiterbar, so dass zusätzliche Mikroskopmodule möglich sind. Das System verfügt über eine integrierte Bildaufnahmeeinheit, die hochauflösende Bilder von selbst kleinsten Funktionsgrößen bereitstellt. Die Bildaufnahmemaschine enthält eine farbige CCD-Kamera und eine Reihe von Vergrößerungen von 5X bis 200X. Es enthält auch Bilderfassungssoftware für die Bilderfassung, Bildanalyse und Klassifizierung. TENCOR Candela CS-1 bietet elektrische Prüf- und Prozesssteuerungsfunktionen auf Waferebene, wie automatische Spannungs- und Stromregelung. Dieses Werkzeug ist so konzipiert, dass es mit vielen verschiedenen Waferprozessen kompatibel ist, einschließlich Lithographie, Montage, Würfeln und Polieren. Darüber hinaus umfasst die Anlage ein Testmodell, das zur Fehlererkennung und Gerätecharakterisierung verwendet werden kann. Dieses Gerät kann detaillierte Informationen über kritische Parameter des Geräts wie Kapazität, Leckstrom, Widerstand, Durchbruchspannung und Stromdrift liefern. Das Candela CS-1 System bietet zudem eine integrierte Datenverwaltungseinheit. Die Datenverwaltungsmaschine bietet ein leistungsfähiges Reporting-Tool, mit dem Benutzer schnell und einfach Berichte über Geräteleistung, Fehlererkennung und Prozesskontrolle erstellen können. Benutzer können auch auf historische Daten zugreifen und sie analysieren, um Problembereiche im Herstellungsprozess schnell zu identifizieren und anzugehen. Insgesamt ist KLA/TENCOR Candela CS-1 Asset ein leistungsfähiges Werkzeug zur Erkennung und Charakterisierung von Halbleiterbauelementen. Das Modell bietet hochauflösende Bildgebung, eine breite Palette von Beleuchtungssystemen, fortschrittliche Bilderfassungstechnologie, Prozesskontrollfunktionen und integriertes Datenmanagement für eine umfassende Waferinspektion und Messtechnik.
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