Gebraucht KLA / TENCOR Candela CS10 #9179263 zu verkaufen

KLA/TENCOR Candela CS10 ist ein Wafer-Prüf- und Messsystem, das für die hochpräzise Messtechnik von Wafern eingesetzt wird, einschließlich Messungen wie kritische Dimension (CD) und Overlay. Das CS10 ist Teil der Candela-Werkzeugreihe und bietet eine breite Palette automatisierter Inspektionsmöglichkeiten für eine Vielzahl von Projekten. Dazu gehören die Überprüfung kritischer Fehlerstellen, die Fehleranalyse, die Prozessüberwachung und die Teil-zu-Teil-Überprüfung. Es eignet sich sowohl für 140nm als auch für 90nm-Konstruktionsregeln mit einer Extraktion von bis zu 55nm. Der fortschrittliche Wafer-Handling-Mechanismus des CS10 macht es einfach, mit Hochtemperatur-Wafern (bis zu 500 Grad Celsius) und verschiedenen Waferdurchmessern (von 200mm bis neun Zoll) zu arbeiten. Das Hochgeschwindigkeits-Laserinterferometer sorgt für eine präzise Messtechnik mit einer vierfachen Erhöhung der effektiven Messgeschwindigkeit gegenüber dem vorhergehenden System. Das CS10 bietet sowohl einen überlegenen Waferdurchsatz als auch Datengenauigkeit. Es verfügt über einen leistungsstarken und zuverlässigen Detektor mit einer Gesamtmessfläche von fast 2.000 Quadratmillimeter. Bei hohen Geschwindigkeiten bietet es 200 Messungen pro Sekunde. Das CS10 ist mit einer Vielzahl optomechanischer Merkmale ausgestattet, wie einem erweiterten Messfeld, einer strahlungsgekühlten radiometrischen Optik und Motoren, die auf Geschwindigkeit und Genauigkeit optimiert sind. Seine bildbasierten Kantenerkennungsalgorithmen ermöglichen eine genaue Bestimmung von Kanten- und Schritthöhen für erweiterte Wafermessungen. Die KLA umfasst die Trace Software Suite - die die Datenerfassung und die vereinfachte Handhabung des optischen Systems erleichtert - und eine grafische Benutzeroberfläche, die die Bedienung für Anwender aller Erfahrungsstufen vereinfacht. Zusammen verbinden sich diese Merkmale, um das CS10 zu einer idealen Wahl für die Wafer-Messtechnik zu machen.