Gebraucht KLA / TENCOR CI-T53P #293635058 zu verkaufen
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KLA/TENCOR CI-T53P ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die auf Zeit-zu-Zeit-Prozesskontrollanwendungen ausgelegt ist. Es ist eine eigenständige Konfiguration, die fortschrittliche Systemarchitekturen und integrierte optomechanische Komponenten kombiniert, um zuverlässige, leistungsstarke messtechnische Dienstleistungen zu bieten. Das T53P ist in der Lage, eine breite Palette von Messungen der Prozesssteuerung durchzuführen, darunter Widerstand, Widerstandsmessung, Oxiddicke, Filmqualität, kritische Dimension (CD )/Durchmesser, Seitenwandwinkel, Stromleckage und Tiefenanalyse. Es kann auch Messtechnik-Bilder von einer Betrachtungskamera auswerten und Wafer-Muster-Funktionen wie Linienbreite, Torhöhe, Überhangwinkel und Maskenausrichtung analysieren. Die Metrologie-Fähigkeit der T53P Einheit besteht aus vier Schlüsselphasen zur umfassenden Prozesssteuerung und konsistenten Geräteherstellung. Im T53P enthalten ist ein hochentwickeltes Softwarepaket zur Verwaltung des Gesamtprozesses. Die Software verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache Methode zur Eingabe von Einstellungen, zur Generierung von Testprogrammen und zur Speicherung von Testergebnissen bietet. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine leistungsstarke Palette statistischer Analysewerkzeuge, um Prozesssteuerungsergebnisse weiter zu definieren und gleichzeitig die Wafer-Messtechnik-Bedingungen und Analysestufen zu steuern. Die Scan-Fähigkeit des Werkzeugs liefert detaillierte Informationen über Halbleiter-Punktstrukturen, um den Weg für schnelle Wafer-Messtechnik-Dienste mit reichlich Testbildern zu ebnen. Sein Substrat-Austauschbarkeits-Tool hat die Fähigkeit, sofort komplexe Muster zu messen und sie mit früheren Spezifikationen zu vergleichen. Dadurch wird sichergestellt, dass das richtige Design vorwärtsgeht. Das T53P Asset ermöglicht überlegene Performance für großangelegte Tests. Es verfügt über ein großes Sichtfeld und eine hohe Datenerfassungsrate für schnelle Umdrehungszeiten. Es verfügt auch über eine intuitive Bedienung, so dass Ingenieure Parameter einrichten, Prozessabläufe anpassen und detaillierte Ergebnisse in Sekunden generieren können. Das T53P ist ein voll integriertes Modell mit allen notwendigen Werkzeugen für genaue Tests und Analysen. Es ist eine All-in-One-Lösung für fortschrittliche Prozesssteuerung. Mit seinen robusten Funktionen ermöglicht die Ausrüstung den Herstellern, Prozessfehler genau zu identifizieren, ihre Prozesstreue zu validieren und ihren Produktionsprozess auf der Strecke zu halten.
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