Gebraucht KLA / TENCOR CTC / FT / FT-500 / FT-530 #293609395 zu verkaufen

KLA/TENCOR CTC/FT/ FT-500/ FT-530 ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das für die präzise optische Prüfung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Der automatisierte Betrieb und die robuste Konstruktion ermöglichen eine zuverlässige und wiederholbare Prüfung von Wafern mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Das System verwendet fortschrittliche, hochauflösende messtechnische Messungen und erweiterte Steuerungsalgorithmen, um eine Vielzahl von Merkmalen auf der Oberfläche eines Halbleiterwafers genau zu messen, einschließlich Topographie, CD (kritische Dimension) Gleichmäßigkeit und Dotierstoffmengen. KLA CTC/FT/ FT-500/ FT-530 besteht aus vier Haupteinheiten: einem optischen Kopf, einer Waferstufe, einem optischen Interferometer und einem Scanning-Softwarepaket. Der optische Kopf ist eine fortgeschrittene Einheit, die vier Optiken enthält, darunter ein Messobjektiv, ein Referenzobjektiv und zwei numerische Objektive. Diese Optik sammelt zusammen ein detailliertes Bild der Waferoberfläche und projiziert dann eine Reihe konvergierender Fußabdrücke auf die Waferoberfläche. Die Waferstufe ist eine motorisierte Goniometerplattform, die den Wafer exakt positioniert und in Bezug auf die Optik orientiert. Das optische Interferometer ist eine High-End-Einheit, die Verschiebungen, Verschiebungsgrenzen und Ebenheit misst. Das Gerät verwendet einen Laser und ein Beugungsgitter, um ein Interferenzmuster auf der Waferoberfläche zu erzeugen, und verwendet dann einen Computer, um das Muster zu analysieren, was ein genaues und wiederholbares Maß für Ebenheit liefert. Schließlich dient das Scan-Softwarepaket zur Automatisierung und Steuerung des Wafer-Test- und Messtechnik-Prozesses. Die Software ermöglicht es einem Anwender, den Testprozess einzurichten und zu überwachen, Messergebnisse zu analysieren und Berichte zu erstellen. Darüber hinaus enthält die Software eine Vielzahl von Funktionen, die den Testprozess optimieren, einschließlich der automatischen Back-Testing-Funktionalität und der automatischen Referenzierung. TENCOR CTC/FT/ FT-500/ FT-530 ist ideal für den Einsatz in präzisen optischen Prüfanwendungen, die genaue, wiederholbare Messungen von Halbleiterscheiben erfordern. Der automatisierte Betrieb und die robusten Konstruktionen des Systems ermöglichen eine zuverlässige und wiederholbare Prüfung von Wafern mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Insgesamt ist CTC/FT/ FT-500/ FT-530 die perfekte Lösung für Wafertests und messtechnische Anforderungen.