Gebraucht KLA / TENCOR eRanger 5200 #293621218 zu verkaufen
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ID: 293621218
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2009
SEM Defect review system
(2) Loadports
Chamber.
KLA/TENCOR eRanger 5200 ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur Messung und Inspektion einer Vielzahl von Parametern auf integrierten Schaltungen (ICs) verwendet wird. Es wurde entwickelt, um genaue und zuverlässige Ergebnisse zu liefern. Das System ist mit fortschrittlicher Technologie ausgestattet, um mehrere Funktionen wie Wafer-Test, Fehleranalyse, 3D-Bildgebung und Wafer-zu-Datenbank-Mapping zu ermöglichen. Der KLA eRanger 5200 ist mit einer automatisierten Wafer-Handhabungseinheit ausgestattet, die eine hohe Durchsatzproduktion mit fehlerfreien Ergebnissen ermöglicht. Die Maschine kann bis zu sieben Wafer mit einem Bereich von 75 mm bis 300 mm aufnehmen. Das Werkzeug ist auch mit verschiedenen Sensoren und messtechnischen Funktionen für genaue Messungen ausgestattet. Es kann Spannung und Leckstrom, Widerstand, Temperatur und mehr mit einem hohen Genauigkeitsniveau messen. Das Asset ist auch in der Lage, fortschrittliche 3D-Bildgebung durchzuführen, um Fehler zu visualisieren. Das Modell ist mit einem integrierten Teilsystem zur Bildverarbeitung ausgestattet, das eine Fehlerbewertung und -analyse ermöglicht. Es verfügt über leistungsstarke Bildverarbeitungsalgorithmen, die Fehler in Wafern von wenigen Nanometern bis zu mehreren Mikrometern identifizieren können. Es verfügt auch über erweiterte Charakterisierungs-KEs, um KEs wie Ausrichtung und dimensionale Variationen zu analysieren. Das Gerät enthält auch ein robustes Softwarepaket mit einer leistungsstarken grafischen Benutzeroberfläche (GUI), um eine einfache Bedienung zu ermöglichen. Darüber hinaus verfügt das System über eine Vielzahl ausgeklügelter Wafer-zu-Datenbank-Mapping-Tools, die einen effizienten Vergleich der Testergebnisse mit Konstruktionsdaten ermöglichen. Das Gerät ist in der Lage, automatisierte Tests durchzuführen, um eindeutige Fehler schnell zu identifizieren und Strategien für Korrekturmaßnahmen zu entwickeln. Durch die Automatisierung dieser Aufgaben trägt die Maschine zur Reduzierung von Rüstzeiten und Kosten im Zusammenhang mit der Chipentwicklung bei. Es bietet eine hohe Wiederholbarkeit sowie Genauigkeit und Zuverlässigkeit, so dass es eine ideale Wahl für Wafer-Tests und Schaltungsdesign.
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