Gebraucht KLA / TENCOR eRanger 5200 #293621220 zu verkaufen

KLA/TENCOR eRanger 5200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um eine vollständige Prozesssteuerung für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente bereitzustellen. Das mit der neuesten Halbleiterherstellungstechnologie entwickelte eRanger-System wurde entwickelt, um präzise Waferdicke, Form- und Profilmessungen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit bereitzustellen. Die fortschrittliche Optik und die integrierten mikroelektromechanischen Systeme (MEMS) ermöglichen es, die Messtechnik sowohl auf der Vorderseite als auch auf der Rückseite des Wafers durchzuführen, zusammen mit Flächenabtastmessungen mit allen Details. Der eRanger verfügt über automatisierte Messungen an Flip-Chip- und Wirebond-Wafern. Seine fortschrittliche Optik ermöglicht es, weiche und harte Masken in 1-Mikron-Auflösung pro Aufnahme zu erfassen und zu messen und gleichzeitig Ionenstrahlbilder von bis zu 10 Mikrometern bereitzustellen. Die 3D-Profilometriefunktionen der Maschine können Waferdurchmesser und Schrägungswinkel, Radiuskrümmung, Felgen und Stufen messen, alles in 1 Mikron Auflösung. Es ermöglicht auch die Messung und Analyse von Pad Höhe und Ebenheit Parameter, Erleichterung Layout, Messtechnik, und Prozesssteuerung. Das Werkzeug ist auch in der Lage, prozessbedingte Defekte wie Metalllinienbreite, Steigung und Eckenradius zu messen. Sein einzigartiges robustes Prozessdesign verbessert die Waferkontrolle und reduziert das Risiko von Partikelzugabe und Kontamination. Die 8-Zoll-Optik mit hohem Durchsatz ist mit den meisten Waferprozessen vollständig kompatibel und ermöglicht optimierte Sichtlinienmessungen zwischen Wafer und Probe. Dadurch kann das eRanger-Modell während der Messzyklen eine ausreichende und wiederholbare Ausrichtung von Wafer zu Probe und eine Wiederholbarkeit der Position gewährleisten. KLA eRanger 5200 ist eine ausgezeichnete Wahl für Unternehmen, die Kosten sparen und die Varianz ihrer Halbleiterherstellungsprozesse reduzieren möchten. Es ist robust, einfach zu bedienen und bietet zuverlässige, hochgenaue Messungen mit Wiederholbarkeit und Genauigkeit im Mikrometerbereich. Das System reduziert aktiv das Kontaminationsrisiko und sorgt für einen komfortablen und ergonomischen Betrieb der Bediener. Schließlich ist die Kompatibilität mit den meisten Waferprozessen eine ausgezeichnete Wahl für jede Halbleiterherstellungsanlage.