Gebraucht KLA / TENCOR eRanger 5200 #293625706 zu verkaufen

KLA/TENCOR eRanger 5200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine schnelle und genaue Analyse und Messung von Halbleiterbauelementen ermöglicht. Das System ist darauf ausgelegt, Wafer bis zu 4 "und 200 mm schnell, präzise und wiederholt zu scannen und zu messen. Es kann eine Vielzahl von Parametern messen, von grundlegenden Oberflächenfehlern bis hin zu komplexen Profilen, Eigenschaften und Prozessen. Die fortschrittlichen Bildgebungstechnologien des KLA eRanger 5200 bieten hochauflösende Bilder von Defekten und Prozesssignaturen mit überlegener Präzision und Wiederholbarkeit für maximale Waferausbeute. TENCOR eRanger 5200 ist auf einer vollautomatischen Plattform aufgebaut, wodurch die manuelle Handhabung von Wafern entfällt. Das Gerät kann schnell konfiguriert werden, um eine Vielzahl von Defekten und Prozessen auf jeder Größe Wafer zu messen. Das integrierte Wafermagazin fasst bis zu 80 Wafer für die automatisierte Waferbeladung und das automatisierte Wafer-Mapping sorgt für höchste Wiederholbarkeit. Der integrierte Roboter-Handler ermöglicht es der Maschine, den Wafer bei Tests und Messungen schnell und präzise zu bewegen. ERanger 5200 bietet sowohl automatisierte als auch manuelle Inspektionsmöglichkeiten, sodass Ingenieure und Bediener Fehler oder Prozesssignaturen schnell und detaillierter identifizieren können. Der automatische Inspektionsmodus setzt Spitzenmessungen und sortiert nichtqualifizierte Wafer aus, während der manuelle Modus es dem Benutzer ermöglicht, Parameter anzupassen und detailliertere Inspektionen durchzuführen. Das Tool verfügt auch über 500µm Zeilenbreite Auflösung auf kritischen Funktionen, zusammen mit hoher Punktdichte und Feature Abdeckung. Das Asset umfasst eine Reihe von Softwareanwendungen, die den Durchsatz und die Genauigkeit erhöhen sollen. Dazu gehören die KLA Targetrunner Co-Planarity Software zur Messung der Koplanarität von Wafern sowie TENCOR Insight zum Betrachten von Bildern, Analysieren von Daten und Erstellen von Berichten. KLA/TENCOR eRanger 5200 enthält auch KLA/TENCOR GP-View-Software, um das Scrollen und Zoomen von Bildern zu automatisieren, wodurch bei der Fehleranalyse mehr Details erzielt werden können. Insgesamt ist der KLA eRanger 5200 ein fortschrittliches Wafer-Test- und Metrologiemodell, das eine breite Palette von Prozess- und Defektarten schnell und genau identifizieren und quantifizieren kann. Seine erweiterten Bildgebungs- und Softwarefunktionen ermöglichen es der Ausrüstung, überlegene Wiederholbarkeit und Präzision zu erzielen, wodurch der Gesamtausbeute an Wafern verringert wird.