Gebraucht KLA / TENCOR eRanger 5200 #9263058 zu verkaufen

KLA/TENCOR eRanger 5200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik der nächsten Generation, die als fortschrittliches Werkzeug zur Messung von Filmdicke und optischen Materialien auf Wafern entwickelt wurde. Dieses System wurde entwickelt, um ultrahohe Auflösung, Geschwindigkeit und Genauigkeit zu gewährleisten und gleichzeitig qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Die Einheit basiert auf einer hybriden Halbleiter-/Metrologie-Plattform, einschließlich eines Festkörperlaser-Rastermikroskops, eines optischen Mikroskops, eines Quad-Detektors, eines Röntgenreflektometers und anderer fortschrittlicher Messtechniken. KLA eRanger 5200 bietet eine breite Palette von Mess- und Analysefähigkeiten, einschließlich Oberflächenbildgebung, optische Oberflächeneigenschaften, Filmabscheidung/-ätzen, Maschinenkalibrierung und vieles mehr. Seine berührungslose optische Maschine verfügt über einen beweglichen Spiegel-Controller und einen hochauflösenden Bildgeber, der eine Hochgeschwindigkeitsmessung auch an den Rändern eines Wafers ermöglicht. Darüber hinaus bietet das Röntgenreflektometer eine einzigartige Lösung für die Materialcharakterisierung, mit der der Bediener Filmdicke und Filmdichte in wenigen Sekunden messen kann. Die fortschrittlichen Softwarepakete von TENCOR eRanger 5200 bieten umfassende Funktionen wie automatisierte Auftragseinrichtung, automatische Prozessmontage, Wafer-Kartenbearbeitung und statistische Prozesssteuerung. Es bietet auch Bildanalyse und Berechnung, zusammen mit fortgeschrittenen statistischen Daten Handhabung Routinen. Um die Genauigkeit zu gewährleisten, hat sich dieses Werkzeug mit nachvollziehbarer Genauigkeit als sehr wiederholbar erwiesen. ERanger 5200 verwendet auch ein Quad-Detection-Asset, mit dem vier Wafer gleichzeitig in einer einzigen Messung zusammengefasst werden können. Dies ermöglicht schnellere Testzeiten und einen verbesserten Durchsatz. Das Modell verfügt auch über eine flexible Wafer Handhabung Ausrüstung, die maximale Kompatibilität mit verschiedenen Arten von Wafern bietet. KLA/TENCOR eRanger 5200 wurde entwickelt, um die Prozessausbeute und Produktqualität durch verbesserte Wafertests und Messtechnik zu erhöhen. Die Kombination aus hochauflösender Bildgebung und fortschrittlichen Softwarefunktionen verbessert die Testfunktionen auf Waferebene erheblich und liefert zuverlässige Ergebnisse und erhöhte Prozesssichtbarkeit. Es kann in einer Vielzahl von Branchen, wie Halbleiter, MEMS, LED und Solarzellen verwendet werden. Die flexible Architektur des Systems ermöglicht auch die Integration in bestehende Halbleiterprozesse, was eine noch höhere Produktivität ermöglicht.