Gebraucht KLA / TENCOR F5x #293587509 zu verkaufen
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ID: 293587509
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Film thickness measurement system, 12"
2004 vintage.
KLA/TENCOR F5x ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit bei der Prüfung von Wafersubstraten und bei der Messung von Oberflächendefekten zu erreichen. Dieses Hightech-Instrument nutzt fortschrittliche Optik und multispektrale Bildgebungstechnologie, um detaillierte Bilder der zu testenden Oberfläche zu erstellen, die die Identifizierung und Quantifizierung von Waferdefekten ermöglichen. Das System ist in der Lage, einen Wafer sowohl auf der Vorder- als auch auf der Rückseite zu scannen, Bilder in verschiedenen Winkeln zu erfassen und Höhenprofil, Größe und Position von Mikrostrukturen mit großer Präzision zu messen. Die KLA- F5x hat auch die Fähigkeit, unterschiedliche Kontraststufen im Oberflächenmaterial zu erkennen und kann auch reflektierende Oberflächen inspizieren. Das Gerät verfügt über einen automatisierten Planheitsalgorithmus, der die Genauigkeit bis auf das atomare Niveau gewährleistet, so dass es mehr als in der Lage ist, High-End-Messtechnik durchzuführen, die für führende Halbleiteranwendungen benötigt wird. Dazu gehören Fehlerhaltungen zur Rampen- und Fehlercharakterisierung, verjüngte und gemusterte Oberflächenprüfung und Maskierung. Die optische Messtechnik der TENCOR F 5 X-Maschine umfasst CCD-Bildgebung, die Hunderte von statistischen Variablen verwendet, um Oberflächenfehler von Substratrückseite, Seitenwänden und Oberflächen zu messen und zu erkennen. Dies kann zu schnelleren Entwicklungszeiten führen, da Merkmale leicht überprüft und erkannt werden können, sowie beschleunigte Produktionsgeschwindigkeiten. F 5 X hat auch die Fähigkeit, Proben in eine Vielzahl von Kategorien zu kartieren und zu klassifizieren, wie Defekte, gute, zwischengeschaltete oder schlechte Wafer. KLA/TENCOR F 5 X-Tool ist einfach zu bedienen und verfügt über Funktionen, die es ideal für Forscher, Produktentwickler und Produktionsingenieure gleichermaßen machen. Es kann als eigenständiges Asset verwendet oder in eine Werksautomatisierung integriert werden. Die Flexibilität des KLA F 5 X-Modells ermöglicht es seinen Benutzern, es entsprechend den spezifischen Anforderungen zu konfigurieren, z. B. nach Fehlerebenen sortieren, Masken erstellen oder die Empfindlichkeit für jedes Produkt festlegen. Insgesamt ist TENCOR F5x Wafer-Prüf- und Messtechnik ein zuverlässiges, präzises und hocheffizientes Werkzeug zur genauen Inspektion und Messung von Oberflächen. Mit seiner fortschrittlichen Optik, Bildgebungstechnologie und automatisierten Algorithmen kann F5x System schnell Oberflächenfehler erkennen und quantifizieren, Ebenheit bis zum atomaren Niveau messen und detaillierte Bilder der zu testenden Oberfläche erzeugen.
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