Gebraucht KLA / TENCOR F5x #9243619 zu verkaufen
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ID: 9243619
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2001
Film thickness measurement system, 12"
FOUP: (2) TDK TAS300
YASUKAWA Robot
PC System
Hard Disk Drive (HDD) missing
2001 vintage.
KLA/TENCOR F5x ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die zur Qualitätssicherung bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es wurde entwickelt, um hochgenaue und wiederholbare Messungen einer Vielzahl von Wafereigenschaften bereitzustellen. KLA F5x verfügt über ein ausgeklügeltes CCD-Kamerasystem, das genaue und wiederholbare Messungen der Topographie von Testwafern sowie eine vollständige Reihe von Fehleranalysen und Fehlerdichteanwendungen bietet. Es ist vollautomatisiert und ermöglicht eine exakte Kontrolle über Prozessmessungen, um die höchsten Qualitätsstandards von Halbleiterbauelementen sicherzustellen. TENCOR F 5 X umfasst eine Vielzahl von bildgebenden Technologien, die sowohl Inspektions- als auch Messtechnik-Fähigkeiten umfassen. Insbesondere erfasst seine CCD-Kameraeinheit Bilder eines Wafers in 614 verschiedenen Segmenten, wobei jedes Segment mittels spektraler Photometrie analysiert wird, um detaillierte optische Lichtstreueigenschaften zu extrahieren. Es folgen eine Reihe automatisierter Tests, wie z.B. zur Messung der kritischen Dimension (CD) und der Fehlerdichte, sowie die Fehlerbewertung. Neben der CCD-Kameramaschine verfügt F5x über ein integriertes optisches Profilometer, das 3D-Topographie-Informationen und Echtzeit-Querschnittsbilder liefert. Es enthält auch eine komplette Reihe von Fehleranalyse-Fähigkeiten, einschließlich automatischer Fehlerortung und -klassifizierung, Ausfallübertragungselektronenmikroskopie (TEM) -Überlagerung und Fehlerisolierung für weitere Analysen. Schließlich bietet F 5 X eine umfassende Palette von Datenanalyse-Tools, mit denen der Benutzer Daten aus Wafer-Test- und Messtechnik-Anwendungen schnell und zuverlässig interpretieren, exportieren und anwenden kann, um die Prozesssteuerung zu optimieren. Dazu gehört auch der Zugriff auf eine Reihe statistischer Algorithmen, die zur Überwachung von nicht zufälligen Trends und Mustern beitragen. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR F 5 X ein hochentwickeltes Werkzeug für die Prüfung und Messtechnik von Halbleiterbauelementen. Es bietet eine automatisierte Plattform zur Messung und Bewertung von Topographie, Fehleranalyse und Fehlerdichte sowie eine Reihe von Datenanalysetools zur Unterstützung der Prozessoptimierung. Mit seinem beeindruckenden Leistungsspektrum leistet TENCOR F5x einen wertvollen Beitrag zur Sicherstellung höchster Qualitätsstandards der Halbleiterbauelementproduktion.
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