Gebraucht KLA / TENCOR F5x #9270868 zu verkaufen

KLA / TENCOR F5x
ID: 9270868
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR F5x ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Halbleiterherstellung. Es verwendet fortschrittliche optische Bildgebungs- und Inspektionstechnologien, um die Produktionsprozesserträge zu optimieren und gleichzeitig Gleichmäßigkeit über alle Wafer zu gewährleisten. Das System verwendet einen automatisierten Waferheber, um Wafer zwischen den Abbildungs- und Analysekammern zu übertragen, sodass der Benutzer jeden Wafer genau und schnell analysieren und inspizieren kann. Das Gerät umfasst zwei hochauflösende Kameras, eine für die Bildgebung und eine für die automatisierte Inspektion. Die Bildaufnahmekamera erfasst Daten aus den Wafern mit einer Auflösung von bis zu 30 nm und ermöglicht so eine präzise und schnelle Datenerfassung. Diese Daten werden dann mit proprietären Algorithmen analysiert, um anspruchsvolle 2D-Bilder der Wafer zu erstellen. Die Inspektionskamera verwendet auch hochauflösende Optik, um Fehlerdaten zu erfassen, die automatisch analysiert und gemeldet werden, um leicht zu interpretierende Inspektionsergebnisse zu liefern. KLA F5x verwendet fortschrittliche Scantechnologien wie Hellfeld, Dunkelfeld, Fluoreszenz und Querschnittsbildgebung, um hochauflösende Bilder über einen weiten Wellenlängenbereich zu erzeugen. Diese Bilder werden dann mit fortschrittlichen Algorithmen analysiert, um Fehler, Ungleichförmigkeiten und andere Eigenschaften innerhalb des Wafers zu erkennen. Diese Daten werden dann verwendet, um Qualitätskennzahlen wie Waferausbeute, Geräteleistung und Defektivität zu generieren. Die Maschine ist auch mit einem In-situ-Probentemperatur- und Umgebungskontrollwerkzeug ausgestattet, das zur Überwachung der Verschmutzungswerte und zur Verringerung der Auswirkungen von Umwelteinflüssen verwendet werden kann. Dies wird erreicht, indem die Schwankungen in Temperatur und Luftdruck, die Waferergebnisse beeinflussen können, eingeschränkt werden. TENCOR F 5 X enthält auch eine breite Palette von Funktionen zur Erhöhung der Prozessgeschwindigkeit und -genauigkeit. Dazu gehören eine direkte Verbindung zu Asset-Operabilität, automatische Wafer-Statusaktualisierungen, Bildregistrierung und ein integriertes Produktionsmodell. All diese Merkmale machen KLA F 5 X zu einer idealen Wahl für Halbleiterhersteller, die eine schnelle, präzise Wafer-Prüfung und Messtechnik benötigen.
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