Gebraucht KLA / TENCOR Flexus F2418 #9375031 zu verkaufen
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ID: 9375031
Weinlese: 1992
System, parts machine
Wafer flatness gauge
Control PC missing
1992 vintage.
KLA/TENCOR Flexus F2418 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für eine Vielzahl von Anwendungen wie die Charakterisierung von IC-Geräten, die Fehleruntersuchung auf Stempelebene und die Überwachung auf Waferebene verwendet wird. Es ist in der Lage, Siliziumscheiben bis 200 mm zu überprüfen und zu messen. KLA Flexus F2418 wurde entwickelt, um die Effizienz und Genauigkeit im Herstellungsprozess zu erhöhen. Das System ist für parallele Tests über mehrere Ziele optimiert und scannt gleichzeitig bis zu vier Werkzeuge gleichzeitig. Es verwendet sowohl optische als auch E-Strahl-Bildgebungsformate für die Fehlerinspektion und bietet einen extrem schnellen, zerstörungsfreien Inspektionsdurchsatz für die Prüfung von Wafern mit hohem Volumen und niedrigem Wert. Das F2418 ist modular aufgebaut und ermöglicht kundenspezifische Anpassungen und Erweiterungen, einen größeren Durchsatz durch Messung des On-the-Fly-Wafers mit höherem Volumen und erweiterte Inspektionsmöglichkeiten zur Erkennung kleinerer Anomalien bei hohen Vergrößerungen. Es enthält auch mehrere Messkanäle, die angepasst werden können, um verschiedene Messanforderungen für schnellere, genauere Tests zu erfüllen. TENCOR Flexus F2418 verfügt zudem über eine Optikeinheit mit höherer Auflösung zur Fehlererkennung und -analyse. Dazu gehört eine variabel vergrößerte Optik, die von niedrig (1X) bis hoch (64X) reicht und eine hochauflösende Abbildung kleiner Düsengrößen bis zu 8 Mikrometer ermöglicht. Der Sondenpositionierer-Rechner sorgt für eine höhere Messgenauigkeit und eine genauere Ausrichtung der Sondenpositionsnadeln und -platten relativ zur Probe für eine zuverlässigere Prüfung. Das F2418 verfügt über erweiterte analytische Fähigkeiten, mit einer Reihe von Messprogrammen, die für Wafer-Pegelmessungen, progressive Messzyklen, Bestimmung der Ebenheit, Dickschichtbestimmung und andere Markierungs- und Fehlercharakterisierungsbedürfnisse optimiert sind. Es enthält auch Algorithmen für die Bildverarbeitung und Datenmusteranpassung, die zur genauen und schnellen Erkennung von Defektanomalien entwickelt wurden. Die Maschine ist auch mit einer integrierten Tool-Suite namens Metrology Toolbox ausgestattet, die eine breite Palette von Messungen zur Automatisierung der Wafer-Level-Messtechnik bietet. Dieses Tool wurde entwickelt, um die erforderlichen Schritte zur Bewertung von Wafern über mehrere Geräteproduktlinien zu vereinfachen und kürzere Zyklen und intelligentere Entscheidungsfindung zu ermöglichen. Flexus F2418 ist ein fortschrittliches Wafer-Test- und Messtechnik-Asset, das entwickelt wurde, um die Zykluszeit zu reduzieren und den Durchsatz für hochvolumige Wafer-Pegelmessungen zu erhöhen. Mit optimierter Optik, hochauflösenden Bildgebungssystemen und fortschrittlichen Analysefähigkeiten ist es eine ideale Wahl für die Herstellung von integrierten Schaltungsbauelementen und andere hochwertige Fertigung in der Halbleiterindustrie.
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