Gebraucht KLA / TENCOR FLX-2320 #293597103 zu verkaufen

KLA/TENCOR FLX-2320 ist eine flexible, automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für die Hochdurchsatzinspektion und Analyse fortschrittlicher 3D-Halbleiterstrukturen entwickelt wurde. Das Tool kann Funktionen bis zu 2,5 Nanometer erfassen und eine umfassende Analyse kritischer elektrischer und optischer Parameter in komplexen Waferstrukturen liefern. KLA FLX-2320 verwendet eine proprietäre Kombination aus Lasern und Optik, um Merkmale in den Halbleiterschichten genau zu erkennen. Laserinduzierte optische Signale werden in Echtzeit gemessen und analysiert und liefern sehr präzise Messungen von Merkmalsgrößen, Filmdicken und anderen Eigenschaften. Mit einem Rasterelektronenstrahlsystem wird dann eine automatisierte Mess- und Analysekarte (AMAT) der Waferstruktur erstellt. Dies ermöglicht die On-Wafer-Messung elektrischer, optischer und anderer Parameter mit hoher Genauigkeit. Das Gerät bietet auch eine Vielzahl von Prozesssteuerungswerkzeugen. Zur Steuerung mehrerer Prozessschritte stehen insgesamt 32 unabhängige, parallele Metrologiekanäle zur Verfügung. Darüber hinaus kann die Maschine in Standard- und Spezialsoftware-Pakete integriert werden, einschließlich Prozesssteuerungs- und Testprogramme, die eine nahtlose Integration in andere Produktions- und Testsysteme ermöglichen. TENCOR FLX 2320 wurde entwickelt, um hochgenaue Testdaten bereitzustellen, Messzeit zu reduzieren, Abfall zu reduzieren und die Prozessausbeute zu verbessern. Das Tool bietet einfach zu bedienende Skriptfunktionen und Kompatibilität mit verschiedenen Analyseprogrammen, was zu zuverlässigen, wiederholbaren Messungen führt. Darüber hinaus ist das Tool benutzerfreundlich, mit einer grafischen Benutzeroberfläche, die schnelle und einfache Programmierung durch Personal mit begrenzter Erfahrung unterstützen kann. Insgesamt bietet FLX 2320 eine robuste, hochgenaue Wafertest- und Messtechnik-Lösung für die fortschrittliche Halbleiterherstellung. Mit seinen Hochdurchsatzfunktionen und leistungsstarken Prozesssteuerungswerkzeugen ist es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Halbleiterentwicklungs- und Fertigungsanwendungen.