Gebraucht KLA / TENCOR FLX-2320 #293765088 zu verkaufen
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ID: 293765088
Wafergröße: 4"-6"
Weinlese: 1999
Thin film stress measurement system, 4"-6"
Laser movement non-functional
Solid state laser: 3650 + 750 nm
Hard Disk Drive (HDD)
PC
Operating system: Windows 3.1
1999 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2320 ist ein robustes, Hochgeschwindigkeits-Wafer-Prüf- und Messsystem, das speziell entwickelt wurde, um die Inspektion und Messung kritischer Merkmale auf 28nm und kleineren Wafergrößen zu optimieren. Mit modernsten Technologien ist die UCK FLX-2320 als Marktführer in der hochpräzisen Waferinspektion und Charakterisierung positioniert. Ausgestattet mit der neuesten KLA bahnbrechenden Technologie bietet TENCOR FLX 2320 beispiellose Inline-Geschwindigkeit und Genauigkeit. Sein konfokales Mikroskop und seine mehrstufige bildgebende Architektur nutzen die doppelseitige bildgebende Fähigkeit und eine optimierte, berührungslose Probeneinheit, um eine beispiellose Echtzeit-Probenuntersuchung zu ermöglichen. Mit seiner Doppelverarbeitung, Echtzeitbildentdeckungstechnologie, ist FLX 2320 dazu fähig, die schwierigsten Eigenschaften und Defektgrößen mit der hohen Genauigkeit und Geschwindigkeit zu messen. Mit einem High-Density-Detektor-Array bietet es detaillierte Messungen mit 1,5 nm Auflösung für Sub-Micron-Geräte. Darüber hinaus kann seine benutzerdefinierte Mustererkennungsmaschine die komplexesten Muster erkennen und sie von falschen Positiven unterscheiden. Für optimale Genauigkeit ist das Werkzeug KLA/TENCOR FLX 2320 mit einem konfigurierbaren Metrologiemodell programmiert. Dazu gehören Funktionen zum Profilieren von Prozessvariablen und Inspizieren von Kreuzformen sowie schichtspezifische Prozessvariablen auf einer Ebene. Darüber hinaus ermöglicht die Inline-Autofoki-Fähigkeit hohe Durchsatzmessungen, die die Prozessstabilität und -genauigkeit erhöhen. KLA FLX 2320 bietet auch automatisierte Wafer-Fehlererkennungsfunktionen. Basierend auf einer Kombination aus konfigurierbaren Mustererkennungs-, Merkmalsauswahl- und Verbesserungsalgorithmen kann das Asset das Vorhandensein von Fehlern mit einem hohen Maß an Vorhersehbarkeit und Genauigkeit erkennen und melden. Schließlich bietet TENCOR FLX-2320 Modell eine komplette, automatisierte Lösung für Wafertests und Messtechnik. Seine erweiterten Fähigkeiten, Echtzeit-Inspektion und Fehlererkennung, Premium-Auflösung und zuverlässiger Betrieb machen es zu einer idealen Wahl für Serien-Fertigungslinien.
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