Gebraucht KLA / TENCOR FLX-2320 #9371825 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9371825
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1993
Thin film stress measurement system, 6"
Heater chuck
No computer
Power supply: 115 V, 12 A, Single Phase, 60 Hz
1993 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2320 ist eine leistungsstarke und präzise Wafer-Prüf- und Messtechnik, die präzise Messungen ermöglicht, die in der industriellen Prozesssteuerung eingesetzt werden können. Dieses System ist mit modernsten und modernsten optischen und elektrischen Technologien ausgestattet, die höchste Genauigkeit bei der Messung von Wafern bieten. Das Gerät ist sehr vielseitig einsetzbar, kann eine breite Palette von Wafermaterialien testen, von Silizium bis Germanium, und verfügt über eine Fähigkeit, kleine Strukturen oder große zu messen, mit einem maximalen Waferdurchmesser von bis zu 200 mm im Durchmesser. Es ist in der Lage, eine breite Palette von physikalischen Eigenschaften des Wafers zu messen, wie Dicke, Topographie, Oberflächenverschmutzung, Oberflächenfehler sowie elektrische und optische Eigenschaften. KLA FLX-2320 ist mit einer Reihe modernster Technologien ausgestattet, wie AutoFocus, wodurch die Optik während der Messung im Fokus bleibt. Durch den Einsatz modernster Technologien in der Bildgebungs- und Detektortechnik ist TENCOR FLX 2320 in der Lage, präzise Messergebnisse bei hohen Geschwindigkeiten zu liefern. Um eine einwandfreie Leistung zu gewährleisten, ist die Maschine mit einer Reihe von Besonderheiten ausgelegt. TENCOR FLX-2320 verwendet zerstörungsfreie lokale Laser und Niederenergie-Ionenbeschuss (LEIB), um Ausbrüche genau zu erkennen, Änderungen in Substratschichten zu bestimmen und Gruben und Höcker zu messen, ohne vorherige Messungen zu beeinflussen. Darüber hinaus ermöglicht die Regelung der Abtastung eine präzise Positionierung des im Test befindlichen Wafers. Darüber hinaus ist das Messtechnik-Tool sehr bequem für den Benutzer ausgelegt. Mit seiner automatischen Kalibrierungsfunktion kann FLX-2320 mit einem minimalen Einrichtungsaufwand verwendet werden und muss nicht neu kalibriert werden. Das Asset verfügt auch über automatisierte Datenerfassungs- und Analysefunktionen, die eine einfache Einrichtung, einen Vergleich und eine Fehlerbehebung der Ergebnisse ermöglichen. Von der Produktion über die Prozesskontrolle bis zur Qualitätskontrolle bietet KLA FLX 2320 genaue und zuverlässige Wafertests und Messtechnik. Mit seinen fortschrittlichen Technologien und Funktionen ist es in der Lage, höchste Genauigkeit und Präzision bei der Wafermessung und -analyse zu bieten.
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