Gebraucht KLA / TENCOR FLX-2320A #293754089 zu verkaufen

KLA/TENCOR FLX-2320A ist eine leistungsfähige Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die zuverlässige und genaue Ergebnisse für die Charakterisierung und Prozesssteuerung von Halbleiterbauelementen liefert. Das System verfügt über ein modernes optisches Design, das eine automatisierte, lineare motorgetriebene Plattform verwendet, um die Gerätefunktionen über die gesamte Palette der Wafergrößen genau und konsistent zu messen. Das Gerät wurde entwickelt, um schnelle und genaue Fehlergrößen-, Bildgebungs- und Fehleranalysefunktionen zu bieten und gleichzeitig einen hohen Durchsatz zu gewährleisten. KLA FLX 2320 A ist mit einer Reihe von proprietären Technologien ausgestattet, um eine überlegene Auflösung und Genauigkeit in der Wafer-Prüfung und Messtechnik zu bieten. Die Maschine verfügt über eine I-DAD-Schnittstelle, die für „integrierte Fehleranalyse und -erkennung“ steht, um eine detaillierte Fehleranalyse und Gerätecharakterisierung bereitzustellen. Das I-DAD Tool verwendet Dual-Laser-Scanning und vertikale Beleuchtung kombiniert mit mehreren Kamerabildern, um ein 3D-Bild der Waferoberfläche zur schnellen und genauen Fehlergröße und Identifizierung zu erzeugen. Die Anlage ist auch in der Lage, die elektrischen Eigenschaften jedes Geräts auf dem Wafer mit Zeitbereichsreflektometrie zu messen. Dies ergänzt die messtechnischen Fähigkeiten des Modells und bietet wertvolle Einblicke in die elektrische Leistung jedes Geräts auf dem Wafer. Die Ergänzung des TDR-Kanals bietet Benutzern die Möglichkeit, ein tieferes Verständnis der elektrischen Eigenschaften jedes Geräts auf dem Wafer zu erlangen. Darüber hinaus verfügt TENCOR FLX-2320-A über ein modernes Bildverarbeitungsgerät zur Klassifizierung und Kategorisierung von Fehlern. Diese Funktion reduziert die Zeit für die manuelle Prüfung und Sortierung von Fehlern, erhöht die Genauigkeit und den Durchsatz. Das System wird von Windows 7 mit Strom versorgt und enthält einen 10-Bit-Graustufen-CCD mit 256 Graustufenauflösungen und bis zu 1617 nm/px. Die Waferstufe kann bis zu 650mm Wafer aufnehmen. Es umfasst auch eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche und einen eingebauten Wafer-Take-Out-Roboter für die automatisierte Wafer-Handhabung. Abschließend ist KLA FLX-2320A eine leistungsstarke und zuverlässige Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit, die erweiterte Funktionen wie eine umfassende I-DAD-Schnittstelle, einen TDR-Kanal, Bildverarbeitungsfunktionen und eine automatisierte Wafer-Handhabungsmaschine bietet. Das Tool wurde entwickelt, um leistungsfähige Wafer-Tests, Messtechnik und Fehleranalyse zu ermöglichen, um genaue Ergebnisse und einen hohen Durchsatz zu gewährleisten.