Gebraucht KLA / TENCOR FLX-2908 #293587953 zu verkaufen

ID: 293587953
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
Thin film stress measurement system, 6" 1994 vintage.
KLA/TENCOR FLX-2908 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine integrierte Metrologie-Lösung, die für die Bereitstellung von hochwertiger Waferinspektion und Messtechnik entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um einen optimalen Waferdurchsatz in fortgeschrittenen Halbleiterherstellungsoperationen zu gewährleisten. Die Plattform KLA FLX-2908 kombiniert die Genauigkeit eines sehr präzisen automatisierten Kalibriersystems mit Hochgeschwindigkeits- und Hochproduktivitätsmessungen. Es nutzt eine Vielzahl von optischen, bildgebenden und chemischen Sensoren, um Inspektion, Messung und Analyse durchzuführen. Es bietet auch eine integrierte Speicherfunktion, die eine schnelle und zuverlässige Ergebnisanalyse ermöglicht. TENCOR FLX 2908 verwendet eine spezielle Bildverarbeitungseinheit, die es ermöglicht, sowohl Waferoberflächen- als auch Rückseitendetails zu erfassen. Es hat eine hohe laterale Auflösung und eine Bildübertragungsrate von bis zu 10 MHz, was eine maximale Scanrate von 8K x 8K in weniger als 10 Sekunden ermöglicht. Mit dieser Maschine können Benutzer seitliche Wandstrukturen messen und/oder überprüfen, Fehlereinschlüsse überprüfen, Anforderungen an CD und Overlay überprüfen und OPC-Überlappungen überprüfen. Das Werkzeug ist außerdem mit einer einzigartigen temperaturgesteuerten Waferstufe ausgestattet, um eine extrem gleichmäßige, präzise gesteuerte Umgebung zu gewährleisten. Dies hilft, wiederholbare und zuverlässige Leistung in einem breiten Spektrum von Umgebungstemperaturen zu gewährleisten. KLA/TENCOR FLX 2908 nutzt auch ein fortschrittliches Alignment Asset zur genauen Positionierung von Wafern und Modellkomponenten. Dies ist eine kritische Komponente, da die Genauigkeit der Messungen stark von der Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Ausrichtung abhängt. Schließlich verfügt das Gerät über eine Reihe von Softwareanwendungen zur Überwachung, Analyse und Berichterstattung. Dazu gehört eine ausgeklügelte Analyse-Suite, mit der Fehler bis zu 3 nm erkannt werden können, und eine ausgeklügelte Analysebibliothek, mit der Benutzer Inspektionssequenzen und Einstellungen an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Insgesamt ist TENCOR FLX-2908 Wafer Testing and Metrology System ein unglaublich zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug, das den hohen Anforderungen der anspruchsvollsten Halbleiterhersteller gerecht wird. Mit seiner präzisen und wiederholbaren Ausrichtung, der Hochgeschwindigkeits-Bildaufnahmeeinheit, der temperaturgesteuerten Stufe und der leistungsstarken Analysesoftware ist FLX 2908 die Lösung der Wahl, um Qualität und Leistung in der Waferbearbeitung und Messtechnik sicherzustellen.
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