Gebraucht KLA / TENCOR FLX-2908 #9385708 zu verkaufen

KLA/TENCOR FLX-2908 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die speziell für fortgeschrittene Wafer-Defektprüfung entwickelt wurde. Es bietet eine Kombination aus hoher Geschwindigkeit und hoher Auflösung in einem einzigen System, wodurch Vorlaufkosten und wiederkehrende Kosten gering bleiben. Diese Einheit ist in der Lage, zahlreiche Matrizen auf einem bestimmten Wafer zu überprüfen und ermöglicht simultane Messungen sowohl kritischer Dimensionen (CD) als auch elektrisch gemessener Parameter (E & S-Parameter). Darüber hinaus verfügt diese Maschine über ein Mehrprodukt-On-Board-Messwerkzeug, d.h. sie kann automatisch mehrere Merkmalstypen (einschließlich aggressiver und parameterintensiver Merkmale) über einen Wafer messen. KLA FLX-2908 prüft und misst die gewünschten Parameter mit bis zu 5 µm CD/XP Auflösung. Es implementiert anspruchsvolle Bildgebung, Musteranpassung und 3D-Höhenprofil-Messalgorithmen, um subtile Fehler zu erkennen, ohne die Messgeschwindigkeit zu beeinträchtigen. Diese Ressource enthält eine Vielzahl von Bordmesstechnologien, wie optische CD/XP-Messung, Messungen von topologischen 2D-Merkmalen und andere Messtechniken. Es beinhaltet auch ein integriertes Hochvergrößerungsprüfungsmodell, das sich auf die Fehler- und Verschmutzungserkennung konzentriert. Diese Ausrüstung kann auch zukünftige Inspektionsplattformen wie optische Fehlerinspektion aufnehmen. TENCOR FLX 2908 verfügt über hervorragende CD/XP-Messungen, beispiellose Präzision und hohe Zuverlässigkeit. Das hybride Messsystem verfügt über einen umfangreichen Messbereich, flexible Inspektionsmöglichkeiten und einen hohen Durchsatz. Darüber hinaus bietet es einen automatisierten Kalibrierungsprozess, der häufige und präzise messtechnische Messungen ermöglicht. Dieses Gerät umfasst auch erweiterte SPC-Funktionen, eine verbesserte Wiederholbarkeit der Messung innerhalb der Matrize und eine automatisierte Datenspeicher-/Wiederherstellungsmaschine. Dieses Werkzeug hat einen kleinen Formfaktor mit integrierter Robotik und kann sogar in kleinen Reinräumen eingesetzt werden. Sein Design ermöglicht die Automatisierung von Aufgaben mit Robotertransporten, um Wafer und Komponenten für eine schnelle und einfache Inspektion/Metrologie hin und her zu bewegen. Schließlich verfügt TENCOR FLX-2908 über eine fortschrittliche Software zur statistischen Prozesskontrolle (SPC), die die Datenerhebung, -analyse und -berichterstattung unterstützt, um eine gleichbleibende Qualität zu gewährleisten.