Gebraucht KLA / TENCOR FLX-5400 #10547 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 10547
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Stress Measurement System, 8"
Software version: 4.25
Software: WinFLX
SMIF type: No
Cassette plate: 6", 5", 4"
PC: Pentium 120 MHz
Laser:
670nm: 3.149
750nm: 3.540
1996 vintage.
KLA/TENCOR FLX-5400 ist ein fortschrittliches Wafer-Prüfgerät, das für die Prüfung und Analyse von Wafern auf dem neuesten Stand der Technik entwickelt wurde. Dieses System verwendet ein modernes optisches Mikroskop und Bildverarbeitungstechnologie, um die gesamte Oberfläche von fertiggestellten Wafern mit hoher Präzision und Genauigkeit zu überprüfen. Anschließend werden Bilder mittels Inspektionssoftware ausgewertet, um Fehler und Mikrofehler zu erkennen, die Konsistenz zu beurteilen und interessante Merkmale auf dem Wafer zu qualifizieren. Das in die UCK integrierte optische Mikroskop FLX-5400 verwendet hochvergrößerte Linsen und sein einzigartiges optisches Design, um eine hohe Inspektionsauflösung zu gewährleisten. Das Objektiv ist in der Lage, Vergrößerungen von bis zu 1000X bereitzustellen, wodurch das Gerät Mikrofeaturen so klein wie 5um erkennen kann. Die aus dem Mikroskop erzeugten Bilddaten werden auch von spezialisierter Software verarbeitet, die sowohl zweidimensionale als auch dreidimensionale Bildanalysetechniken verwendet, um Fehler zu erkennen, Merkmalsgrößen zu messen und Bilder im Laufe der Zeit zu vergleichen, um nach Änderungen an der Oberfläche des Wafers zu suchen. TENCOR FLX 5400 umfasst auch eine automatisierte Lade- und Handhabungsmaschine, die ein einfaches Einrichten und Abrufen der Wafer-Probe zur Inspektion ermöglicht. Dieses Lade- und Handhabungswerkzeug ermöglicht es FLX-5400, leicht zwischen verschiedenen Wafern mit verschiedenen Arten von Merkmalen umzuschalten, was eine schnelle und effiziente Analyse jeder Probe ermöglicht. In Kombination mit seiner fortschrittlichen optischen Inspektionstechnologie ist TENCOR FLX-5400 auch mit automatisierten Fehlerbewertungsfunktionen ausgestattet, die Oberflächenfehler identifizieren, kategorisieren und quantifizieren können. Diese automatisierte Analyse ermöglicht es Herstellern, die Qualität ihrer Wafer-Probe schnell und genau zu beurteilen, so dass sie fundierte Entscheidungen über Produktion und Prozesskontrolle treffen können. FLX 5400 ist ein leistungsfähiges und vielseitiges Asset, das eine umfassende Lösung für Anforderungen an Wafer-Tests und -Analysen bietet. Durch automatisierte und manuelle Inspektion ist es in der Lage, den höchsten Qualitätsstandard für eine breite Palette von Materialien und Strukturen zu gewährleisten. Diese Kombination von Fähigkeiten macht KLA/TENCOR FLX 5400 zu einer idealen Wahl für Waferhersteller, die ihren Produktionsprozess optimieren möchten.
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