Gebraucht KLA / TENCOR FLX-5400 #293623331 zu verkaufen

KLA/TENCOR FLX-5400 stellt die nächste Generation von Wafer-Prüf- und Messtechnik-Systemen dar. Diese vielseitige, leistungsstarke Ausrüstung ist ideal für Produktions- und F & E-Anwendungen. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Waferkonstruktionen von 200 mm bis 450 mm gleichzeitig zu testen. Es verfügt über eine der höchsten Produktionskapazitäten in der Branche und ist in der Lage, die neuesten messtechnischen Methoden wie automatische Disposition Feedback-Schleifen und integrierte Fehlerüberprüfungsmechanismen zu unterstützen. KLA FLX-5400 verfügt über eine Reihe innovativer Designmerkmale. Das System verwendet einen eigenständigen Robotermanipulator, der sich bis zu 9 Freiheitsgrade bewegen kann, um eine 3D-Ausrichtung und ein Wafer-Handling zu ermöglichen. Die Beleuchtungseinheit implementiert mehrere LED-Quellen, um die Variabilität zu minimieren, während ein proprietärer Optimierungsalgorithmus die Abbildung gleichmäßig über das gesamte Sichtfeld hält. Dies trägt dazu bei, genaue Messergebnisse zu gewährleisten. Die Maschine nutzt auch fortschrittliche Multi-Spektral-Strobed-Imaging-Techniken der KLA. Diese Technik verwendet breitbandige Anregung mit drei kalibrierten Kameras, um sowohl die spektrale als auch die winkelförmige Information jeder Waferschicht zu erfassen. Der leistungsstarke Prozessor kombiniert diese multispektralen Daten dann zu einem einzigen Messkanal. Dies ermöglicht schnelle und genaue Messungen von Wafer-Merkmalen wie Oberflächentopographie, Aktivbereich, Nähe und Kante. Zur Fehlercharakterisierung enthält TENCOR FLX 5400 eine Reihe fortschrittlicher Tools und Algorithmen. Das Tool verwendet Auto-Ready, eine Technologie, die es dem Benutzer ermöglicht, schnell eine Vielzahl von Erkennungs-, Klassifizierungs- und Analysealgorithmen einzurichten. Dazu gehören Funktionen wie Prozessüberwachung, Krankheitsanalyse, Stress- und Dehnungsanalyse und optische Mikroskopie. KLA/TENCOR FLX 5400 enthält ein robustes Softwarepaket, das alle Werkzeuge zur Analyse und Meldung der Ergebnisse jeder Messung bereitstellt. Dazu gehören Tools zur Datenfilterung, Statistik, Berichterstattung, Trendanalyse und Korrelation. Darüber hinaus beinhaltet das Asset SmartDefects Plus, das es einfach macht, Fehler zu erkennen und zu isolieren sowie Korrekturmaßnahmen anzuwenden. Darüber hinaus bietet KLA FLX 5400 eine breite Palette an Anwendungsflexibilität. Anwender sind in der Lage, das Modell so zu konfigurieren, dass es jede Art von Waferstruktur verarbeitet und sogar strukturell komplexe Substrate unterbringt, die möglicherweise zusätzliches Setup erfordern. Darüber hinaus ist es in der Lage, sowohl in Einzelwafer- als auch in Kassetten-zu-Kassetten-Konfigurationen zu arbeiten, wodurch es für eine Vielzahl von Produktionsprozessen gut geeignet ist. Insgesamt ist TENCOR FLX-5400 eine hochentwickelte Ausrüstung, die eine hochpräzise Messtechnik und Fehleranalyse ermöglicht. Dieses System ist sehr gut für eine Vielzahl von Wafer-Prüf- und Messtechnik-Anwendungen auf Produktionsebene geeignet und bietet viele Vorteile für aktuelle und nächste Generation Wafer-Prüfanforderungen.