Gebraucht KLA / TENCOR FLX-5400 #293648854 zu verkaufen
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ID: 293648854
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2015
Thin film stress measurement system, 8"
2015 vintage.
KLA/TENCOR FLX-5400 ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die Genauigkeit und hohe Durchsatzleistung im Nanobereich bietet. Es identifiziert effektiv Partikel und Defekte in schwimmenden Substraten, einschließlich Photomasken und Flachbildschirme. Das System ist für kleinere Messzyklen ausgelegt und kann Fehler 50X schneller als eine herkömmliche Einheit identifizieren. KLA FLX-5400 verwendet hochauflösende Bildgebungstechnologie, um Partikel und defektanfällige Bereiche auf Substraten zu messen. Es enthält automatisierte Partikelerkennungsalgorithmen zur Identifizierung und Autofokus auf diesen Regionen, um deren Größe, Form und Ort zu bestimmen. Darüber hinaus umfasst die Maschine leistungsstarke Analysefunktionen, um einzelne Wafermessungen zu verfolgen und zu berichten. Das Werkzeug verwendet eine Kombination aus optischen und akustischen Techniken, um Partikel auf dem Wafer genau zu identifizieren. Es enthält ein Sensor-Array mit fortschrittlichen Algorithmen, um Partikel bis zu einer Größe von 0,1 Mikrometern zu erkennen. Das Asset verwendet auch optische Messtechniken wie das Top-Down-Scannen, um Partikel genau zu identifizieren. Das Modell kann Partikel in einer Vielzahl von Materialien wie Silizium, Glas und Metall messen. Es wurde entwickelt, um die hohen Anforderungen an die Herstellung von Wafern mit hohem Volumen zu erfüllen. Das Gerät ist mit einer präzisen Autofokus-Funktion ausgestattet, die sich an die Substrat-Topographie-Variation anpasst. Diese Funktion hilft, die Messzeit von Partikeln zu reduzieren und den Durchsatz zu erhöhen. Das System ist für den 24/7-Betrieb in Reinraumumgebungen der Klasse 1 ausgelegt. TENCOR FLX 5400 ist eine kostengünstige Lösung für Wafertests und messtechnische Anforderungen, die sich problemlos in Produktionsanlagen integrieren lassen. Es ist in der Lage, Hunderte von Substraten pro Stunde zu testen. Darüber hinaus wird das Gerät von einer umfassenden Suite von Software, Hardware und Services unterstützt, die die Leistung und den Ertrag optimieren sollen. Die Maschine ist mit Optionen und Zubehör aufrüstbar, die Anpassungsoptionen bieten.
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