Gebraucht KLA / TENCOR FLX-5400 #293830700 zu verkaufen

KLA / TENCOR FLX-5400
ID: 293830700
Wafergröße: 8"
Thin film stress measurement system, 8".
KLA/TENCOR FLX-5400 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine fortschrittliche Technologie, die automatisierte Test- und Messtechnikfunktionen für Halbleiterscheiben bietet. Die KLA- FLX-5400 verwendet fortgeschrittene Bildgebungstechniken wie konfokale Mikroskopie, Gauß-Scanning, Fourier-Transformation der Infrarotspektroskopie und Röntgenmapping, um kleine Funktionen auf Wafern zu erkennen. Das System kann die physikalischen und elektrischen Eigenschaften von Wafern mit hoher Präzision messen. Seine Fähigkeiten umfassen Messtechnik, Fehlerinspektion, Partikelanalyse und elektrische Prüfung. Ein wesentliches Merkmal von TENCOR FLX 5400 ist die hochauflösende Messtechnik für komplexe Waferfunktionen wie Gräben, Vias und Funktionen mit hohem Seitenverhältnis. Das Gerät kann Fehler in den Wafern erkennen, indem es Defekte wie Hohlräume, Partikel und Risse erkennt. Es kann auch die Dicke und Dielektrizitätskonstante von Merkmalen mit präziser Genauigkeit messen. KLA/TENCOR FLX 5400 hat auch eine leistungsfähige Fähigkeit, Bilder zu analysieren und mathematische Modelle der Waferoberfläche zu produzieren. Bei dieser Analyse handelt es sich um die Kombination mehrerer Tester, wie Kantendetektoren, Formgeneratoren und Zusammensetzungsanalysatoren. Diese Analyse ermöglicht es der Maschine, die Qualität der Oberfläche des Wafers und die Art der vorhandenen Fehler zu bestimmen. FLX 5400 verfügt über ein robustes Datenmanagement-Tool, um die Ergebnisse der Wafertests und der Messtechnik zu speichern. Daten können auf einer internen Festplatte oder einem externen Netzlaufwerk gespeichert werden. Das Asset verfügt auch über eine grafische Benutzeroberfläche, die die Testergebnisse in einem einfach zu interpretierenden Format anzeigt. Die grafische Benutzeroberfläche dient auch zur Navigation durch das komplexe Datenverwaltungsmodell. Darüber hinaus entspricht KLA FLX 5400 Industriestandards wie VLSI, SCMO und SAME. Dies macht es für den Einsatz in vielen Anwendungen geeignet, einschließlich der Herstellung von Wafern und charakterisierenden Komponenten. Die Ausrüstung ist auch so konzipiert, dass sie leicht aufgerüstet werden kann, damit sie auch weiterhin den sich ändernden Anforderungen der Branche gerecht werden kann. Insgesamt ist TENCOR FLX-5400 ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiesystem, das eine ausgezeichnete Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Skalierbarkeit bietet. Es kann kleine Merkmale und Defekte auf Wafern erkennen, die physikalischen und elektrischen Eigenschaften messen und Bilder analysieren und mathematische Modelle erzeugen. Das robuste Datenmanagement und die Einhaltung von Branchenstandards machen es zu einer idealen Lösung für die Herstellung, Prüfung und Charakterisierung von Wafern.
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