Gebraucht KLA / TENCOR FLX-5400 #9031780 zu verkaufen

KLA/TENCOR FLX-5400 ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnik-Gerät, das entwickelt wurde, um die komplexesten Wafer-Prüf- und Messtechnik-Aufgaben mit überlegener Genauigkeit und Wiederholbarkeit durchzuführen. Dieses System ist ideal für fortgeschrittene Knoten einschließlich 5nm Anwendungen. KLA FLX-5400 nutzt eine Kombination aus optischer und digitaler Bildgebung, physikalischer Messung und fortschrittlicher Prozessanalyse, um hochgenaue und zuverlässige Mess- und Wafertestergebnisse zu liefern. Dieses Gerät ist mit der Emerge™ 5000 Advanced Metrology Platform integriert, einer flexiblen und offenen Maschine, mit der Anwender die beste Kombination von messtechnischen Lösungen basierend auf Anwendungsanforderungen auswählen können. Diese Plattform umfasst eine Reihe von Hochleistungs-Prozessanalyse-Tools wie schnelle Fehlerüberprüfung, Track-Analyse und Charakterisierung, alle mit einer ultra-niedrigen Erkennungsschwelle und beispielloser räumlicher Auflösung. Die Automatisierungs- und Robotik-Technologie des Werkzeugs ermöglicht eine kostengünstige Automatisierung von Aufgaben der hochvolumigen, sich wiederholenden Messtechnik und Wafer-Tests und ermöglicht so sehr wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse. Das Asset verfügt über hochpräzise dynamische Fokussteuerungen, die eine kontinuierliche schnelle adaptive Fokussierung und Bilderfassung ermöglichen. Es umfasst auch eine Auswahl adaptiver optischer und digitaler Bildgebungstechnologien und integrierte AFM/SPM-Funktionen für die vielseitige Fehlerbildgebung und -analyse. Für die physikalische Messung ist das Modell mit weltweit führenden Messtechnik-Tools integriert, die Eddy-Current kritische Dimension, Fokus/Defokus, Ätztiefe und Schicht/Foliendicke Metrologie-Fähigkeiten umfassen. TENCOR FLX 5400 bietet eine leistungsstarke Toolbox zur Prozessfehlererkennung und -analyse, die SEM-Bilder des Wafers und/oder der Matrize zur schnellen feinkörnigen Fehlerdiagnose, Echtzeit-Datenanalyse zur Korrelation von Prozess- und Produktmetriken mit Testergebnissen und statistischer Prozesssteuerung umfasst. Schließlich verfügt die Ausrüstung über eine breite Palette von erweiterten Berichts- und Datenexport-Optionen, um die gemeinsame Nutzung von Daten und Testergebnissen mit vor- und nachgelagerten Integrationspartnern mit Genauigkeit und Vertrauen zu ermöglichen. Der Benutzer kann einfach eine Reihe von Berichtsoptionen konfigurieren, einschließlich rollenbasierter Zugriffskontrolle für einen sicheren und granularen Zugriff auf Daten. Dieses modernste Wafer-Test- und Messtechnik-System ist das ultimative Diagnosetool für fortgeschrittene Knoten usw.