Gebraucht KLA / TENCOR FLX-5400 #9271456 zu verkaufen

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ID: 9271456
Thin film stress measurement system.
KLA/TENCOR FLX-5400 ist eine hochpräzise Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es kann verwendet werden, um verschiedene Parameter von Wafersubstraten wie Düsendicke, Düsenbindungspolstergröße und Düsenebenheit zu testen, sowie Fehler in Schütt- und Dünnschichtstrukturen zu erkennen und zu messen. KLA FLX-5400 nutzt variable Bewegungskinematik, um Waferdaten schnell und effizient genau zu erfassen. Diese Technologie ermöglicht auch die präzise Messung kritischer Merkmale an modernen Diesets wie Chip- und Substratdesign-Features und Bondpad-Dimensionen. TENCOR FLX 5400 ist ein sehr zuverlässiges Wafer-Prüf- und Messtechnik-System. Seine fortschrittlichen Algorithmen, Nanometer-Encoder und Bewegungssteuerungsfunktionen ermöglichen es ihm, die Integrität von Wafern genau zu analysieren und zu messen. Es kann die kleinsten Merkmalsmaße und Fehler an den kritischsten Strukturen, wie Transistoren und Speicherzellen, erkennen und messen. Das Gerät umfasst eine automatisierte Datenhandhabungsmaschine zum schnellen Speichern, Analysieren und Melden von gemessenen Waferdaten. Das Werkzeug hat eine Auflösung von 4,5 μ m, die das Studium der Integrität kleiner Merkmale auf dem Wafer ermöglicht. Seine integrierte bildgebende Anlage kann hochauflösende Bilder über den gesamten Waferbereich aufnehmen und ermöglicht die Untersuchung verschiedener Materialstrukturen und Defekte. Das Abbildungsmodell verwendet einen hochauflösenden digitalen Abbildungskopf gekoppelt mit einer speziellen Laserbeleuchtung und Autofokussieroptik. Zur Ausstattung gehören auch leistungsstarke softwarebasierte Tools zur Datenanalyse und -berichterstattung. Die Werkzeuge können automatisch Balkendiagramme und Histogramme erzeugen, um Waferdaten schnell zu visualisieren und Ausreißerflecken zu erkennen. Die Software kann auch mehrere Waferbilder vergleichen und die Fehlerdichte messen. FLX 5400 bietet das höchste Niveau an Wafer-Prüf- und Messtechnik-Funktionen innerhalb einer Industriestandard-Maschine. Seine überlegene Leistung und zuverlässige Bedienung machen es zu einer idealen Lösung für die Halbleiterherstellung.
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