Gebraucht KLA / TENCOR FLX-5400 #9299886 zu verkaufen

KLA/TENCOR FLX-5400 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die es Anwendern ermöglicht, beispiellose Präzision und Produktivität für die Strukturierung, Messung und Inspektion von Halbleitermaterialien zu erreichen. Es verfügt über ein ultrahochauflösendes, schnelles XY-Scanning-System, automatisierte Wafer-Handhabung, eine vielseitige Z-Stufe und hochpräzise optische Elemente in Verbindung mit fortschrittlichen Software-Algorithmen für genaue und zuverlässige Musterung und Messtechnik. KLA FLX-5400 ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu testen und zu messen, darunter SOI, Silizium, Polysilizium, Siliziumnitrid und andere ultradünne Filme. Es bietet antireflektive Beschichtung und klare Abbildung für hohen Kontrast Betrieb. Darüber hinaus ermöglicht die schnelle XY-Abtasteinheit eine schnelle Quer- und Querbewegung und ermöglicht einen Durchsatz von bis zu 6 Wafern pro Stunde. Die robuste Z-Stufe wird von einer geräuscharmen, hochpräzisen Linearmotorstufe angetrieben und ist über einen weiten Temperaturbereich zuverlässig stabil. Dies gewährleistet eine gleichbleibende Wiederholbarkeit über den gesamten Höhenbereich. Die Z-Stufe bietet zudem eine niedrige Betätigungskraft bei einer Mindestschrittweite von weniger als 1 nm. TENCOR FLX 5400 verfügt über eine ultrahochauflösende optische Bildgebungsmaschine mit Dual-Achsen-Ausrichtung, diffraktiver Optik, fortschrittlichen Linsen und modularem Design. Dieses Tool bietet eine außergewöhnliche Bildauflösung mit einer Messauflösung von weniger als 0,1 µm. Es enthält auch ein automatisiertes Sampling-Asset für eine schnelle und einfache Musterbehandlung. KLA FLX 5400 enthält eine Vielzahl von Software-Tools, um das Benutzererlebnis zu optimieren und die Genauigkeit zu gewährleisten. Es beinhaltet Prozesssteuerungssoftware zur Automatisierung von Critical Dimension (CD) Messungen und automatisierte Berichtsgenerierung. Es verfügt außerdem über einen Bordcomputer zur automatisierten Bildaufnahme und -steuerung sowie über ein Nachbearbeitungs-Softwarepaket zur Bildanalyse und -prüfung. FLX 5400 ist ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiemodell für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es bietet eine außergewöhnliche Bildauflösung, schnelles XY-Scannen und eine rauscharme, hochpräzise Z-Stufe für zuverlässige Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Darüber hinaus ermöglichen die erweiterten Software-Tools Prozessautomatisierung und optimierte Benutzererfahrung. Damit ist sie die perfekte Lösung für hochpräzise Messtechnik und Inspektion.