Gebraucht KLA / TENCOR FOUP Handler for SP1 / F5X / Spectra FX #9240599 zu verkaufen

ID: 9240599
Wafergröße: 12"
12".
KLA/TENCOR FOUP Handler für SP1/ F5X/Spectra FX ist eine moderne Wafer-Prüf- und Messtechnik. Dieses System führt effizient Inline-Tests und Messtechnik von Wafern, Substraten und anderen Materialien auf fortgeschrittenem Niveau durch. KLA FOUP Handler ist für die schnelle und zuverlässige Analyse von lichtempfindlichen Materialien und anderen Wafern wie Silizium, Flüssigkristalldisplay (LCD), Dünnschichttransistor (TFT) -Displays und nichtflüchtigem Speicher (NVM) konzipiert. Es ist eine vollwertige Suite von automatisierter Software und Hardware mit Präzisionsstufen, Bewegung, Vision und Bildverarbeitung, die den Anforderungen der Halbleiterhersteller entspricht. KLA FOUP Handler für SP1/ F5X/Spectra FX-Einheit verwendet fortschrittliche proprietäre Optik-Technologie, um Wafer ohne physischen Kontakt genau zu analysieren und Schäden an empfindlichen Medien zu minimieren. Die eingebetteten optischen Sensoren erfassen und verfolgen Wafer unterschiedlicher Größe und Dicke und verwenden thermisch belastete aktive Optik für präzise Winkelmessungen. Dies ermöglicht genaue Messungen an einem höheren Framerat, was eine beispiellose messtechnische Leistung bringt. TENCOR FOUP Handler bietet auch eine komplette Inspektionslösung, die dem Industriestandard E10/11 oder gleichwertigen EN/IEC 61215 entspricht. Die eingebaute 4M Pixel, 4K Auflösung Abbildung von Wafern ermöglicht eine schnelle und zuverlässige Fehlererkennung, einschließlich Kantenfehler, Brückenfehler, runde Defekte, Abschaum Kreise, Kratzer, Beulen, Hohlräume und andere Verunreinigungen. Die bildgebende Maschine integriert sich weiter in die integrierte Mustererkennungs- und Schutzband-Auto-Erkennungsfunktionen, um das Vorhandensein von grauen Defekten, Farbfehlern und Faltenfehlern zu beurteilen. Die integrierten Signalverarbeitungsfunktionen von KLA/TENCOR FOUP Handler geben einen weiteren Einblick in die Materialeigenschaften. Der FOUP Handler umfasst Standardalgorithmen und Messtechnik für kritische Dünn-/Dickfilmmessungen, Farbe, Textur, Doppelbrechung, Oberflächendeckung, Fokustiefe, Ebenheit, Textur, Dislokation, Musterauflösung, Flachheit des Wafers, Materialeigenschaften, Bildkontrast, Formgenauigkeit und orientierung. Darüber hinaus ermöglichen intelligente Überwachungs- und Fehlersteuerungstools der KLA eine automatisierte Messtechnik über Wafer hinweg, während die Ausgabe von Echtzeitdaten es Anwendern ermöglicht, die Produktleistung und die Prozessparameter auszuwerten. TENCOR FOUP Handler für SP1/ F5X/Spectra FX ist ein effizientes, zuverlässiges und robustes Werkzeug zur Präzisionsalimentierung und Messtechnik von Wafern und anderen empfindlichen Substraten. Es ermöglicht schnelle Inspektions- und Überwachungsergebnisse, sodass Anwender schnelle Entscheidungen und Produktanalysen durchführen können. Infolgedessen ist TENCOR FOUP Handler ein wesentlicher Bestandteil jeder kommerziellen oder Forschungseinrichtung, die sich auf Wafertests und Messtechnik spezialisiert hat.
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