Gebraucht KLA / TENCOR FT-500 #9214047 zu verkaufen

KLA/TENCOR FT-500 ist ein fortschrittliches Waferinspektions- und Messtechniksystem, das erweiterte Funktionen bietet, einschließlich Inline-Fehlerüberprüfung, hoher Durchsatz und hochauflösender Bildgebung. Konkret bietet KLA FT-500 insgesamt 500 Wafer-Aligner, die bis zu 8 Wafer pro Stunde und Station ermöglichen und 12 ", 8" und 6 "Wafer aufnehmen. Durch integrierte Optik und LEDs kann es eine Bildauflösung von bis zu 1.6um und ein maximales Sichtfeld von 500mm erzeugen. TENCOR FT-500 ist mit dem ADR-System (Automated Defect Review) ausgestattet, das eine automatische Inline-Fehlerüberprüfung ermöglicht und visuelle Darstellungen von abgeleiteten Parametern wie CD, Zeilenrauhigkeit und anderen lokalen oder globalen Parametern bietet. Darüber hinaus unterstützt es verschiedene optische Techniken für CD-Messungen und ermöglicht eine gleichzeitige Wafer-zu-Wafer-M1-Anpassung (Schicht oder Messungen). In Bezug auf die Beleuchtung verwendet FT-500 erweiterte Beleuchtungsoptionen wie hochauflösendes Hellfeld, Dunkelfeld, Hintergrundbeleuchtung und Epi-Beleuchtung sowie eine Reihe von LEDs und Filteroptionen, um variable Wafer-Muster zu erfassen. Darüber hinaus ermöglicht der automatische Strahlprofiler und die Einstellung der Scanparameter die Steuerung der Strahlbedingungen und die Erzielung einheitlicher Scans. Was die Bildanalyse und -verbesserung anbelangt, so verfügt KLA/TENCOR FT-500 über erweiterte Funktionen wie automatisierte Funktionssuche, Bildschärfung, Bildsegmentierung und automatisierte Funktionsklassifizierung. Darüber hinaus umfasst es auch Bildmesswerkzeuge wie Messgrafiken und Werkzeuge zur Verbesserung der Bilderkennungsgenauigkeit. In Bezug auf den Durchsatz ist KLA- FT-500 in der Lage, im Batch-Modus bis zu 1000 Wafer pro Stunde durchzuführen, während es im Scan-Modus bis zu 20 Wafer pro Stunde verarbeiten kann. Um die Durchsatzleistung weiter zu optimieren, verfügt es außerdem über eine automatische Fehlererkennungsfunktion, die die Einrichtungszeit reduziert. Schließlich kommt TENCOR FT-500 mit einer breiten Palette von Zubehör und Komponenten für eine komfortable Einrichtung und Wartung. Insgesamt bietet FT-500 Inspektions- und Messsystem höchste Genauigkeit und Durchsatz für die Waferinspektion und Messtechnik. Mit seinen fortschrittlichen Beleuchtungs-, Bildanalyse- und Messwerkzeugen wurde es entwickelt, um den Ertrag zu verbessern und die Kosten zu senken.