Gebraucht KLA / TENCOR FT-600 #9081978 zu verkaufen

ID: 9081978
Film thickness system measurement mapping system.
KLA/TENCOR FT-600 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für den Einsatz in der Mikroelektronik-Fertigung. Es bietet erweiterte Fähigkeiten zum Messen und Analysieren einer breiten Palette von Wafereigenschaften, einschließlich elektrischer, optischer, chemischer und thermischer Eigenschaften. Das System ist konfigurierbar für Prozesssteuerungsanforderungen und anwendungsspezifische Anforderungen. Es wurde entwickelt, um schnelle, genaue und wiederholbare Messungen von Wafern aus einer Vielzahl von Materialien zu erreichen und eine Vielzahl von integrierten Schaltungen schnell zu charakterisieren. Das Gerät verfügt über eine Suite von Hochgeschwindigkeits-Naoccam-Kameras zur Abbildung von Wafern in Nanometerauflösung. Die bildgebende Maschine kann die elektrischen Eigenschaften des Wafers messen und bestimmen, ob er Spezifikationen erfüllt. Zusätzliche Lichtquellen bieten eine optische Überwachung des Wafers während des gesamten Testprozesses. Es enthält ein Farbkorrekturwerkzeug und ein CCD-Array zur dreidimensionalen Fehlererkennung. Das Asset ist hochautomatisiert und kann Hunderte von Testbildern genau interpretieren und bietet nützliche Produktionsinformationen mit nur minimalen Eingaben vom Benutzer. Die KLA- FT-600 enthält zusätzlich ein robustes Datenverarbeitungsmodell, das integrierte Ergebnisse aus mehreren Tests an einer einzigen Prozessstation liefern kann. Unter Verwendung von Impedanz- und Kapazitätsmessungen kann eine detaillierte Prozessanalyse durchgeführt werden. Die Onboard-Analyse-Software des Geräts ermöglicht eine schnelle Korrelation der Testergebnisse mit bestimmten Masken und erleichtert so die Prozessoptimierung. Es stehen eine Reihe chemischer und thermischer Messtechnik zur Verfügung, wie ein bordeigenes Massenspektrometer und ein Infrarot-Temperatursensor zur Messung dünner Filme. Insgesamt ist TENCOR FT-600 eine ideale Wahl für die Herstellung elektronischer Geräte, die eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messergebnisse erfordern. Es bietet einen umfassenden Satz von Wafer-Prüf- und Messtechnik-Fähigkeiten, die Hersteller von Halbleitern, Photovoltaik und Optoelektronik helfen, effizientere und zuverlässigere Produkte zu schaffen.
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