Gebraucht KLA / TENCOR FT-600 #9376730 zu verkaufen

KLA/TENCOR FT-600 ist eine vollautomatische Wafer-Prüf- und Messtechnik, die eine optimale Zuverlässigkeit und Genauigkeit bei der Messung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente bietet. Mit modernsten hochauflösenden Bildgebungs- und Beschichtungstechnologien bietet KLA FT-600 hervorragende Leistung für eine Vielzahl von messtechnischen Zielen. Das System besteht aus zwei Hauptkomponenten: dem Integrierten Teilsystem (IS), das die messtechnischen und elektrischen und optischen Messungen durchführt, und dem Teilsystem Automatisierte Beschichtung (ACS), das die für die Prüfung und Messtechnik erforderlichen fortschrittlichen Beschichtungsfähigkeiten bietet. Das IS-Modul enthält ein 40nm auflösendes Bildverarbeitungsmodul, das hochauflösende Bilder von Wafern bis 300mm Größe erzeugt. Fortgeschrittene Algorithmen werden verwendet, um diese Bilder zu analysieren, um kritische Parameter wie vertikales dimensionales Profil, Oberflächenrauhigkeit und Fehlergröße und -menge zu messen. Die Einheit umfasst auch ein elektrisches und optisches Untermodul, das elektrische Parameter wie ohmschen Kontaktwiderstand, Dioden- und MOSFET-Parameterprofile, Transkonduktanz und andere Geräteparameterwerte messen kann. Dieses Untermodul umfasst auch eine Spektralantwort-Messmaschine zur Messung optischer Eigenschaften, wie Spektralreflexion und Durchlässigkeit. Das ACS umfasst eine fortschrittliche magnetisch schwebende motorgetriebene Beschichtungseinheit, die Proben bis zu 300 mm beschichtet. Diese Beschichtungseinheit bietet eine glatte, gleichmäßige, hochpräzise Beschichtung von Materialien wie Photoresists und anderen konformen Beschichtungen und ist voll kompatibel mit einer Vielzahl von Photolithographie und anderen naßchemischen Prozessen. Das Gerät ist außerdem mit einem integrierten Umwelt- und Vakuumsteuerungswerkzeug ausgestattet, um eine optimale Beschichtungsleistung zu gewährleisten. Darüber hinaus umfasst TENCOR FT-600 eine erweiterte Software-Suite für die Integration aller Asset-Komponenten. Diese Software-Suite bietet Prozessautomatisierung, Ertragsoptimierung, Datenerfassung und -analyse, Berichtsgenerierung und andere Funktionen. FT-600 ist auf höchste Qualitäts- und Zuverlässigkeitsstandards ausgelegt und eignet sich für verschiedenste messtechnische und produktionstechnische Anwendungen. Seine fortschrittliche Bildgebungs- und Beschichtungsleistung, kombiniert mit seiner robusten Software-Suite, machen es zu einer idealen Lösung für die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie.