Gebraucht KLA / TENCOR FT-750 #293652818 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-750 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um genaue, zuverlässige und wiederholbare Messungen von 300mm und größeren Halbleiterscheiben und sterben in einer Produktionsumgebung bereitzustellen. Dieses System bietet umfassende Testmöglichkeiten wie automatisierte Fehlerinspektion, automatische Partikelanalyse, optische und elektrische Messungen, Overlay, Fehlerdiskriminierung und Fehleranalyse. KLA FT-750 ist eine hochpräzise, automatisierte Einheit, die ein computergesteuertes Multisensor-Interferometer, eine ladungsgekoppelte Gerätekamera, ein hochgeschwindigkeitsgebundenes robotisches Teilsystem und eine ausgeklügelte Benutzeroberfläche verwendet. Das von TENCOR FT 750 gelieferte Interferometer ist eine hochgenaue Bildverarbeitungsmaschine, die ein optoelektronisches Werkzeug, ein Interferometer, eine mechanische Stufe und einen Manipulator umfasst, die die Abbildung von Halbleiterstrukturen aus verschiedenen Winkeln ermöglichen. Diese Anlage verfügt über ein hochmodernes Fourier-Transformations-Interferometer, das eine Vielzahl von Topographie- und optischen Kontrastvariationen auf einer Vielzahl von Anwendungen wie Photolithographie, Overetch, Front-End-of-Line (FEOL) und Back-End-of-Line (BEOL) genau messen und abbilden kann. Die CCD-Kamera bietet die Stabilität und Genauigkeit, die für hochauflösende Bilder in einer Vielzahl von Anwendungen erforderlich sind. Das mit Metall versiegelte robotische Teilsystem ermöglicht das schnelle, genaue Be- und Entladen von Wafern zwischen dem Interferometer und der Werkbank des Benutzers und die hochintuitive Benutzeroberfläche ermöglicht automatisierte Messabläufe mit vordefinierten Merkmalen und Testprozessrezepten. Das Modell KLA FT 750 umfasst auch vollständige statistische Analysefähigkeiten, die die Messung von Änderungen in Merkmalsprofilen durch Entwicklungs- und Produktionsprozesse ermöglichen. Diese Eigenschaften sowie genaue Fehlerabbildungsfunktionen ermöglichen eine zuverlässige Fehlerklassifizierung und -charakterisierung. Dieses Gerät umfasst auch eine umfassende Palette von Systemverwaltungstools, einschließlich messtechnischer Prozessüberwachung, automatisierter Bedienereingabefunktionen, Optimierung der Performance und Messreihenfolge und Fehlerberichterstattung. Diese vielseitige und umfassende Einheit ermöglicht es dem Benutzer, Zugriff auf die benötigten Daten zu erhalten und gleichzeitig manuelle Schritte zu vermeiden und Zykluszeiten zu verkürzen. Insgesamt ist FT-750 eine fortschrittliche Wafertest- und Metrologiemaschine, die eine verbesserte Automatisierung, verbesserte Genauigkeit und Zuverlässigkeit und einen größeren Durchsatz bietet. Das Tool bietet eine umfassende Palette von Funktionen, die es dem Benutzer ermöglichen, Daten in einer Produktionsumgebung zu überwachen und zusammenzufassen und gleichzeitig umfassende statistische Analysefunktionen bereitzustellen. Die Benutzeroberfläche des Asset ermöglicht automatisierte Messabläufe und eine rationalisierte Fehlerklassifizierung und -charakterisierung und ist damit eine ideale Lösung für Halbleiteranwendungen.