Gebraucht KLA / TENCOR FT-750 #9173658 zu verkaufen

ID: 9173658
Weinlese: 1995
Thin film measurement system 1995 vintage.
KLA/TENCOR FT-750 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik der nächsten Generation. Es wurde entwickelt, um ständig steigenden Durchsatz und Genauigkeitsanforderungen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen zu erfüllen. Es ist mit fortschrittlichen Optik-, Bewegungssteuerungs-, Datenerfassungs- und Analysefunktionen ausgestattet, die alle von einer fortschrittlichen Systemarchitektur überwacht und gesteuert werden. Das Gerät verwendet eine leistungsstarke Bildverarbeitungsmaschine, um Submikron-Bilder mit außergewöhnlicher Klarheit und Auflösung zu erzeugen. Die bildgebende Engine besteht aus einer hochauflösenden digitalen CCD-Kamera, AutofocusTM-Objektiv und einer verbesserten LED-Lichtquelle für die Beleuchtung. Die verbesserte bildgebende Maschine erreicht die bildgebende Fähigkeit bis zu 16x der Auflösung früherer Modelle. KLA FT-750 verfügt über ein innovatives optisches Messtechnik-Tool, um eine Vielzahl von kritischen Geräteeigenschaften genau zu messen. Die integrierte Messtechnik nutzt sowohl helle Feld- als auch Dunkelfeld-Bildgebungssysteme, kombiniert mit dreidimensionalem Punktscannen, um Merkmale bis zu 0,2 Mikron über den Wafer zu messen. Die bildgebenden und messtechnischen Fähigkeiten des TENCOR FT 750 werden durch ein robustes Bewegungssteuermodell ergänzt. Diese Ausrüstung besteht aus drei betätigten Stufen für zusätzliche Präzision in der Wafer-Positionierung. Darüber hinaus wird ein ausgeklügeltes Vision-basiertes Ausrichtungssystem eingesetzt, um eine genaue Registrierung von Bildern zu Messungen zu gewährleisten. Die internen Datenerfassungs- und Analysefunktionen der FT 750-Einheit verwenden ausgeklügelte Algorithmen, um Fehlerorte, -größen und -form zu charakterisieren. Diese Algorithmen werden mit leistungsstarken Datenbanktools und automatisierter Fehlerklassifizierung kombiniert, um Testergebnisse effizient zu analysieren und zu melden. Die Maschine ist für die Integration mit anderen Halbleitertest- und Messtechnikgeräten konzipiert, die eine effiziente Datenübertragung und -berichterstattung ermöglichen. TENCOR FT-750 ist auch in der Lage, Standardsoftware-Tools zu verwenden, um die Berichterstattung von Testergebnissen und anderen Analyseaufgaben zu unterstützen. Insgesamt ist FT-750 ein fortschrittliches Wafer-Test- und Metrologie-Tool mit innovativen Fähigkeiten. Seine leistungsstarken Funktionen für Bildgebung, Messtechnik, Bewegungssteuerung und Datenerfassung/-analyse bieten eine hochgenaue und zuverlässige Wafer-Charakterisierung. Das Asset ist in der Lage, Funktionen bereitzustellen, die den anspruchsvollen Anforderungen der Herstellung von Halbleiterscheiben der nächsten Generation entsprechen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor