Gebraucht KLA / TENCOR FT-750 #9377280 zu verkaufen

KLA/TENCOR FT-750 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein umfassendes Set integrierter Hard- und Software zur Inspektion und Messung fortschrittlicher Wafer-Fertigungsprozesse. Es kombiniert fortschrittliche Messtechnik und Fehlerinspektionstechnologien zu einem einzigen System für hochgenaue Wafertests und Messtechnik mit hohem Durchsatz. Die KLA FT-750 bietet eine automatisierte Inspektion der gesamten Waferoberfläche und der Inline-Messtechnik durch Vision-basierte Inspektionstechnologien und automatisierte zerstörungsfreie Wafertests. Mit seiner Hochgeschwindigkeits-Scan-Fähigkeit und mehreren Werkzeugen in einer Einheit ist TENCOR FT 750 in der Lage, Wafer schnell und präzise auf Defekte zu überprüfen und zu charakterisieren. Die Maschine umfasst auch KLA Advanced Inspection Technologies (AIT), die eine plattformunabhängige Fehlerinspektion mit Standard-Betriebssoftware (SOS) an jedem Werkzeug und eine Fehlerdiagnose mit TENCOR Defect Diagnostics Tool (DDS) ermöglichen. Die plattformunabhängige AIT-Technologie trägt dazu bei, die Lücke zwischen Merkmalen, die im SEM-Image sichtbar sind, und relevanten Fehlertrends zu schließen. KLA FT 750 besteht aus drei Komponenten: der Wafer-Prüfstation, der Wafer-Messtechnik-Station und dem Scanner. Die Wafer-Teststation ist mit einer leistungsstarken Kamera ausgestattet, die eine schnelle Inspektion und Messtechnik des Wafers ermöglicht. Der Scanner ist eine Hochgeschwindigkeitsmaschine mit mehreren Achsen, die für die Abtastung des Wafers und anschließend für die Übertragung des Bildes an die Wafer-Messtechnik-Station zuständig ist. Die Wafer-Messtechnik-Station ist das primäre Arbeitstier des Modells und kombiniert Wafer-Inspektions- und Messtechnik-Technologien zu einer einzigen Plattform. Es ist mit zwei Wafer-Inspektionsaufgaben - einer optischen Inspektionsstation und einem Rasterelektronenmikroskop (SEM) - und vier automatisierten messtechnischen Aufgaben ausgestattet. Die automatisierten messtechnischen Aufgaben umfassen Widerstandsmessungen, Overlay-Messungen sowie AFM-Bildgebung und Tiefenprofilierung. FT 750 Wafer Testing and Metrology Equipment bietet ein effizientes System für Wafertests und Messtechnik. Die integrierte Hard- und Software ermöglicht schnelle und genaue Inspektionen und Messungen von Wafern für maximale Ausbeute und Prozesskontrolle. Mit seiner AIT-Technologie sowie der Hochgeschwindigkeits-Scan-Fähigkeit und mehreren Werkzeugen ist FT-750 eine ideale Wahl für die Waferinspektion und Messtechnik.