Gebraucht KLA / TENCOR FX 100 #9240150 zu verkaufen
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ID: 9240150
Weinlese: 2005
Thickness measurement system
Module: EFEM
Missing PC
2005 vintage.
KLA/TENCOR FX 100 ist eine hochwertige Messtechnik und Wafer-Prüfausrüstung für präzise Messungen von Halbleitermaterialien. Dieses System bietet fortschrittliche Technologien, um die genauesten Ergebnisse für Wafertests und Messtechnik zu liefern. KLA FX 100 verfügt über eine hochauflösende bildgebende Sensoreinheit zur genauen Messung der Eigenschaften von Halbleiterscheiben. Diese Maschine kann Materialmerkmale bis zu Untermikrongrößen messen. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einem hochauflösenden bildgebenden Element ausgestattet, so dass es eine genaue dreidimensionale Ansicht des Wafers erzeugen kann. Dadurch kann der Benutzer die kritische Dimension (CD) genau messen. Das Modell nutzt auch eine Hochgeschwindigkeitsstufe, um den gesamten Wafer-Testbereich exakt abzubilden. Für die berührungslose Messtechnik ist das Gerät zudem mit einem robusten berührungslosen Messtechnikmodul ausgestattet, das Oberflächentopographie und Defektmerkmale des Wafers messen kann. Das berührungslose Messtechnikmodul ist in der Lage, eine Vielzahl von Fehlertypen zu identifizieren, darunter Gruben, Versetzungen, Schrittschnitte und Hohlräume. Das System wird auch mit einer hochentwickelten Wafer-Verifikationseinheit geliefert, um Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Wafer-Testergebnisse zu gewährleisten. Die Wafer-Verifikationsmaschine ist in der Lage, eine umfassende Reihe von elektrischen und mechanischen Tests an Wafern durchzuführen. Diese Tests umfassen die Charakterisierung von Halbleiterbauelementen, die Prüfung elektrischer Parameter und verschiedene Integritätstests. Das Tool hat die Fähigkeit, die Integrität von Wafern noch vor dem Testen zu überprüfen. TENCOR FX 100 verfügt außerdem über eine automatische Wafer-Handhabung, um Geschwindigkeit und Genauigkeit für Wafertests bereitzustellen. Dieses Modell ist in der Lage, Wafer schnell und zuverlässig zu be- und entladen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein automatisiertes Rezeptsystem, das bis zu 50 Rezepte speichern kann, so dass Bediener verschiedene Kombinationen von Testparametern erkunden können. Für zusätzlichen Benutzerfreundlichkeit verfügt FX 100 auch über eine Windows-basierte grafische Benutzeroberfläche (GUI). Auf diese Weise können Anwender über eine intuitive Benutzeroberfläche schnell auf die verschiedenen Testvorgänge der Maschine zugreifen und diese steuern. Die GUI bietet auch automatisierte Datenanalyse-Tools, so dass Ergebnisse aus Tests schnell und genau ausgewertet werden können. KLA/TENCOR FX 100 ist ein branchenführendes Tool für Wafertests und Messtechnik, das innovative Technologien und fortschrittliche Funktionen bietet, um die präzisesten und genauesten Ergebnisse zu gewährleisten. Die hochauflösende Bildverarbeitung, das berührungslose Messtechnikmodul, die Wafer-Verifizierung, die automatische Wafer-Handhabung und das automatisierte Rezeptmodell machen es zu einer zuverlässigen und robusten Ausrüstung für Wafer-Tests und Messtechnik.
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