Gebraucht KLA / TENCOR FX 100 #9246541 zu verkaufen

KLA/TENCOR FX 100 ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnikgerät, das entwickelt wurde, um die Ausbeute zu verbessern und die Ausschussraten für die Halbleiterherstellung zu reduzieren. Es verwendet eine Kombination aus optischen Interferometern, Rasterelektronenmikroskopen und automatisierten Fehlerinspektionssystemen, um verschiedene Arten von Defekten auf einer Vielzahl von Halbleiterscheibentypen zu erkennen und zu messen. In der KLA FX 100 Systemkonfiguration sind zwei Scanköpfe enthalten: ein Großfeldinterferometer und ein optisches Mikroskop mit hoher Dichte. Diese Abtastköpfe werden mit einer Auswahl von optischen Interferometern, einer digitalen Abbildungseinheit und einem Fernmikroskop gepaart. Das Design der Maschine kombiniert Präzisionsmesstechnik mit der Fähigkeit, Winkel, Abstände und Azimut mit zuverlässiger Wiederholbarkeit zu messen. Es ist in der Lage, Daten aus dem gesamten Sichtfeld zu erfassen, mit geringem Messfehler und hoher Genauigkeit über eine Vielzahl von Wafertypen. Für die Fehlerortung und -messung setzt TENCOR FX 100 Werkzeug fortschrittliche optische und Elektronenmikroskope sowie automatisierte Inspektionssysteme ein. Diese Sensoren können verschiedene Arten von Defekten erkennen und messen, wie Partikel, Hohlräume, Versetzungen, Oberflächenungleichförmigkeiten und strukturell beschädigte Bereiche. FX 100 bietet auch automatisierte Messung, statistische Analyse, Wafer-Mapping, Ertragsanalyse und Fehlerverfolgung Werkzeuge. Um die Qualitätskontrolle in der Halbleiterherstellung sicherzustellen, kann KLA/TENCOR FX 100 alle Arten von Halbleiterscheiben mit einer Vielzahl von Overlay- und Ausrichtungstechniken genau messen. Um die Anzahl der automatisierten und manuellen Tests zu reduzieren, verfügt KLA FX 100 Asset über eine integrierte Metrologie-Konsole. Diese Konsole verfügt über eine automatisierte messtechnische Schnittstelle für effiziente Fehlerortung und Messung. Zum Modell gehört auch ein Roboter-Wafer-Handler mit hohem Durchsatz, der für schnelles Wafer-Handling und schnelle Belastungstests konzipiert ist. TENCOR FX 100 ist eine integrierte Ausrüstung der Prüfung und Messtechnik, die dazu beitragen soll, den Ertrag zu maximieren und die Produktionseffizienz in der Halbleiterherstellung zu erhöhen. Die fortschrittlichen, hochpräzisen optischen und Elektronenmikroskope des Systems in Kombination mit automatisierten Inspektionssystemen sind in der Lage, eine Vielzahl von Fehlern zu identifizieren und zu messen, während die integrierte Metrologie-Konsole und der automatisierte Wafer-Handler die Testzeit und -kosten reduzieren. Um die Qualitätskontrolle in der Halbleiterherstellung sicherzustellen, ist die FX 100 Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit eine leistungsfähige, zuverlässige Lösung.