Gebraucht KLA / TENCOR FX 200 #293628442 zu verkaufen

KLA/TENCOR FX 200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für den Einsatz in der Halbleiterherstellung und -prüfung. KLA FX 200 basiert auf einem zum Patent angemeldeten optischen Bildgebungssystem, das Laser, Mikroskope und erweiterte Optik verwendet, um eine fokussierte Bildgebungseinheit zu schaffen, die messtechnische Aufgaben bis in den Nanometermaßstab ermöglicht. Die Maschine verfügt über vier Kanäle für hochauflösende Bildgebung, Messung und Positionierung von Teststrukturen auf Substraten und unterstützt eine Vielzahl von Messtechniken für erweiterte Charakterisierungen wie Overlay, Höhe, Planarität und Formtests. TENCOR FX200 Tool ist in der Lage, Funktionen auf Chips bis zu 20 nm Größe unter Beibehaltung hoher Genauigkeit, Auflösung und Durchsatz zu messen. Es integriert mehrere hochauflösende Bildgebungstechniken wie Photomikroskopie, Interferometrie, Topographie und Streuung, um die Wafer und Substratmaterialien zu analysieren. Diese Kombination aus optischer Bildgebung, laserbasierter Messtechnik und präziser lithographiefähiger Positionierung ermöglicht es dem Asset, Merkmale bis zu 10 nm in verschiedenen Mustern, Formen, Orientierungen und Größen genau zu messen. FX 200 enthält auch ein automatisiertes Kalibriermodell, das Parameter für die dimensionale Messtechnik wie Fokus, Vergrößerung, Werkzeugauflösung und Erkennungsbereich genau messen und anpassen kann. Diese Kalibriereinrichtung ist optimiert, um Messungen hoher Genauigkeit mit schnellem Durchsatz durchzuführen. Darüber hinaus ermöglicht ein automatisiertes Substrat-Handling-System dem Anwender die schnelle und einfache Übertragung der Wafersubstrate. KLA/TENCOR FX200 bietet auch eine Auswahl an spezialisierten Softwareanwendungen, die bei Chipinspektionen, Messungen und Reporting helfen sollen. Diese Anwendungen liefern vorhergesagte Ergebnisse mit hoher Genauigkeit und Rückverfolgbarkeit. Dies ist möglich durch mehrere Funktionen, wie eine anpassbare Benutzeroberfläche, mit der Benutzer die Instrumentenkonfiguration für ihre einzigartigen Anwendungen anpassen können. Das Gerät enthält auch ein Dateneingabe- und Management-Tool auf der Benutzeroberfläche des Geräts, das die Erfassung und den Abruf von messtechnischen Daten vereinfacht. Insgesamt ist KLA FX200 Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine ein zuverlässiges und genaues Messtechnikwerkzeug, das in der Lage ist, auf Nanometerwaagen zu messen. Die automatisierten Kalibrier- und Substrathandhabungssysteme sowie die spezialisierten Softwareanwendungen machen TENCOR FX 200 zu einem leistungsstarken und vielseitigen Werkzeug für die Halbleiterherstellung und -inspektion.