Gebraucht KLA / TENCOR HRP 260 #293628462 zu verkaufen

KLA/TENCOR HRP 260 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die optische Messtechnik und Bildanalyse verwendet, um genaue und präzise Messungen der Wafergeometrie, Waferdicke und Oberflächentopographie von Halbleiterscheiben durchzuführen. Das System besteht aus mehreren Komponenten, darunter einem Messkopf, einem optisch ausgerichteten Testwerkzeug und einer automatisierten XY-Motorstufe mit integrierter thermischer Zonentrennung; diese Komponenten arbeiten zusammen, um die Eigenschaften des Geräts mit außergewöhnlicher Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit zu messen. Das Herzstück der Einheit liegt in dem integrierten Optisch ausgerichteten Testwerkzeug, das spezialisierte RGB-Beleuchtung, mehrere Objektive und mehrere Bewegungsachsen kombiniert. Das Test Tool ermöglicht schnelle und präzise Messungen von Wafer-Oberflächentopologie, Waferdicke, Wafer-Ebenheit, Wafer-Ebenheit, Wafer-Mittelposition und Geräteebene Ebenheit. Das Test Tool ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafern im Bereich von 200mm bis 300mm Durchmesser zu messen und ist in der Lage, automatisch bis zu 200 Funktionen auf einem einzelnen Wafer zu messen. Neben dem optisch ausgerichteten Testwerkzeug enthält KLA HRP 260 auch eine automatisierte XY-Motorstufe mit eingebetteter thermischer Zonentrennung. Diese Stufe wurde entwickelt, um die Bewegungsachsen des Testwerkzeugs zu unterstützen und Schutz vor thermischer Drift und Vibration zu bieten. TENCOR HRP 260 bietet dem Anwender eine umfassende Palette an Messmöglichkeiten. Es unterstützt automatische Messungen mit offener Schleife und geschlossener Schleife und kann gleichzeitig die Oberflächentopologie, den Mittelversatz und die Ebenheit jedes Wafers messen. Durch die Kombination traditioneller optischer Techniken mit laserbasierten Techniken ist die Maschine in der Lage, maximale Genauigkeit und Präzision zu liefern. Das Tool ist mit einem Echtzeit-Datenerfassungsmodul ausgestattet, das alle gesammelten Daten in Echtzeit erfasst und speichert und anschließend an eine bordeigene Verarbeitungseinheit weiterleitet. Diese Einheit ist verantwortlich für die Analyse der Daten und die Erstellung einer Vielzahl von Berichten, die verwendet werden, um die Compliance zu gewährleisten und Probleme zu identifizieren. HRP 260 verfügt auch über eine einfache Benutzeroberfläche, die dem Benutzer einen einfachen Zugriff auf die Messergebnisse bietet und es ihnen ermöglicht, die Vermögensleistung schnell und einfach zu überwachen. Insgesamt ist KLA/TENCOR HRP 260 ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiemodell, das optische Messtechniken und Bildanalysetechniken verwendet, um Genauigkeit und Präzision bei der Messung der Eigenschaften von Halbleiterscheiben bereitzustellen. Das Gerät unterstützt automatische Messungen mit offenem und geschlossenem Regelkreis, sammelt Daten in Echtzeit und generiert verschiedene Arten von Berichten für die Einhaltung behördlicher Auflagen und die Leistungsüberwachung.