Gebraucht KLA / TENCOR HRP 340 #293601223 zu verkaufen
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KLA/TENCOR HRP 340 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für hohe Durchsätze, hohe Genauigkeit und hochauflösende Messungen ausgelegt ist. Es wurde optimiert, um schnelle und zuverlässige Messergebnisse für Messungen des Stempelpegels, des Waferpegels und des Unterstempelpegels bereitzustellen. Das System verfügt über eine verbesserte optische Einheit, hochauflösende Bildsensoren und ein integriertes Softwarepaket, das sowohl die Messung elektrischer als auch optischer Parameter ermöglicht. Die Maschine ist in der Lage, 8-Zoll-bis 300-Millimeter-Substrate zu handhaben, und bietet schnelle Kalibrierung und ausgezeichnete Metrologie Wiederholbarkeit. KLA HRP 340 umfasst eine Reihe von optischen, elektrischen und digitalen Komponenten, um genaue und reproduzierbare Messungen zu gewährleisten. Das optische Werkzeug umfasst eine fortschrittliche hochauflösende Kamera, eine hochempfindliche CCD-Kamera und ein digitales Mikroskop, um hochauflösende Bilder zu erhalten. Die Anlage ist zudem mit einem vollautomatischen Ladegerät-Entlader ausgestattet, wodurch eine häufige Kalibrierung entfällt. Das Modell verfügt zudem über eine integrierte Stufe zur automatischen Ausrichtung und Positionierung der Wafer zur Prüfung. Die Geräte ermöglichen sowohl manuelle als auch automatische Tests und verfügen über eine umfassende Software-Suite, einschließlich Wafer-Level-Testing-Tools, Chip-Level und Module-Level-Testing-Tools und einer datengesteuerten Analyse-Software. Die Software ermöglicht die Prüfung elektrischer Parameter wie Dotierstoffprofilierung und Verunreinigungsanalyse sowie optische Parameter wie Oberflächenrauhigkeit und Brechungsindex. Die datengetriebene Software kann auch eine Makro- und Mikrofehlerprüfung auf Waferebene durchführen. TENCOR HRP 340 verfügt außerdem über ein Dual-Side-Messtechnik-System, um Messergebnisse mit hoher Genauigkeit bereitzustellen. Die Einheit umfasst einen optischen Uni-Pixel-Sensor, einen zweikanaligen CCD-Sensor und einen Laserpositionssensor. Der optische Sensor bietet eine genaue Messung der Oberflächenrauhigkeit, Korngröße, Oberflächenstruktur und Linienbreite. Der zweikanalige CCD-Sensor ermöglicht eine präzise Messung der Linienbreite, Linienbreite, Kantenplatzierungsfehler und Überlagerungsgenauigkeit. Der Laserpositionssensor bietet eine genaue Auflösung der Sub-Mikrometer-Messung. Insgesamt ist HRP 340 eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die auf zuverlässige und genaue Wafer-Pegelmessungen ausgelegt ist. Das Werkzeug verfügt über eine Kombination aus optischen, elektrischen und digitalen Komponenten, die präzise Messungen des Werkzeug- und Unterwerkzeugpegels ermöglichen. Das Asset verfügt außerdem über leistungsstarke Software für die Tests auf Stanzebene, Wafer-Ebene und Sub-Die-Level sowie über ein Dual-Side-Metrologiemodell für Messungen mit hoher Genauigkeit. Mit diesen Eigenschaften ist KLA/TENCOR HRP 340 eine hervorragende Ausrüstung für Wafertests und Messtechnik.
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