Gebraucht KLA / TENCOR HRP 340 #293662987 zu verkaufen

KLA/TENCOR HRP 340 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine Hochleistungslösung für automatisierte Waferdefektanalyse und messtechnische Anwendungen für optische Geräte. Entwickelt, um die anspruchsvollen Anforderungen der heutigen Halbleiterindustrie zu erfüllen, ist KLA HRP 340 in der Lage, eine Nanometer-Auflösung und eine hohe Analysegeschwindigkeit zu bieten - bis zu 40 Wafer/Stunde. Das System besteht aus drei Teilsystemen, um den gesamten Wafer-Test- und Messtechnik-Workflow zu erleichtern. Das erste Teilsystem ist die HPR 145 Metrology Unit, eine voll integrierte Maschine, die vier geometrische Wellenlängen-Messtechnik-Maschinen (GOMM) und ein Laserprofilometer kombiniert. Das zweite Teilsystem ist das Tool Patterned Wafer Inspection (PWI), das ein hochauflösendes automatisiertes optisches Inspektionsgerät und zugehörige Software zur Inspektion von schmalen Merkmalen und feinen Linienmustern umfasst. Schließlich beinhaltet TENCOR HRP 340 ein Defect Review & Analysis Asset zur Auswahl von Wafern zur eingehenden Inspektion und zur Nutzung der drei Subsysteme für Wafertests und messtechnische Anwendungen. Mit dem HPR140 Metrologiemodell, einer einzigartigen Kombination aus vier GOMM und einem Laserprofilometer, können Hersteller hochauflösende Bilder aufnehmen und die Geometrien von Wafern mit Geschwindigkeit und Präzision analysieren. Mit unterschiedlicher Wellenlängentechnologie und Automatisierung werden Genauigkeit und Durchsatz mit nanoskaliger Genauigkeit verbessert. Die Patterned Wafer Inspektion Ausrüstung, ausgestattet mit hochauflösenden automatisierten optischen Inspektionsgerät und zugehörige Software, ermöglicht frühere Erkennung und Klassifizierung von Fehlern. Wafer-Eigenschaften wie Linienbreite, Linienraum und Kantenplatzierung können genau gemessen und geprüft werden, um eine fehlerfreie Fertigung sicherzustellen. Schließlich bietet das Defect Review & Analysis System eine Wafer-by-Wafer-Überprüfung und Analyse, um sicherzustellen, dass die Herstellung und Reparatur von Wafern effektiv durchgeführt werden. Wafer-Fehlercharakterisierungsbilder und Analyseergebnisse werden gesammelt und können dem Anwender in einem anpassbaren Fehlerprüfbericht präsentiert werden. HRP 340 Wafer Testing and Metrology Unit bietet der Halbleiterindustrie eine leistungsstarke und umfassende Lösung für Anwendungen in der Fehleranalyse und Messtechnik für optische Geräte. Mit seiner hohen Integrationsgeschwindigkeit, Nanometerauflösung und umfassenden Fehlerüberprüfungs- und Analysesubsystemen ist KLA/TENCOR HRP 340 die perfekte Wahl, um Qualität und Präzision in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung sicherzustellen.