Gebraucht KLA / TENCOR HRP 340 #293794170 zu verkaufen
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KLA/TENCOR HRP 340 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur zerstörungsfreien, hochauflösenden physikalischen Inspektion von Halbleiterscheiben. Dieses fortschrittliche Wafer-Testsystem verwendet mehrere Kameras und eine digitale Bildgebungstechnologie, um elektrische, mechanische und optische Fehler auf der Waferoberfläche genau zu messen und zu erkennen. Seine physikalische Inspektionsfähigkeit unterstützt die Waferinspektion von bis zu 380mm Wafern mit einer Auflösung von 0,25 μ m und einer Fokustiefe von bis zu 4,5 μ m, wodurch Partikel, Kratzer und andere Defekte auf Waferoberflächen identifiziert werden können. Das Gerät hat auch die Fähigkeit, mehrere Stempel auf einem Wafer gleichzeitig zu überprüfen. Die Inspektion mehrerer Werkzeuge auf einem Wafer erfolgt durch seinen automatisierten Fokusmotor, eine motorisierte XY-Stufe und eine integrierte Bildverarbeitungsmaschine, die hilft, schnelle und genaue Ergebnisse zu liefern. KLA HRP 340 bietet vielfältige Möglichkeiten zur Fehlererkennung, Messung und Charakterisierung. Es umfasst verschiedene elektrische Tests wie DC-Vorspannung, Kapazitätsmessungen und Widerstandsmessungen sowie Messungen für Linienbreite, Kantenzahl, Polygonanzahl, CCD-Pixelzählung und Leckstrom. Darüber hinaus bietet es optische Tests wie Oberflächenanalyse, Fehler- und Filmdickendetektion sowie Partikelanalyse und -identifizierung an. Die bildgebenden Funktionen umfassen SEM, STM, TEM und hochvergrößerte Bildgebung. Seine motorisierte XY-Stufe trägt dazu bei, die Positionsverschiebung der Matrizen über verschiedene Testpunkte hinweg zu minimieren, wodurch eine bessere Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit der Ergebnisse gewährleistet ist. Das Tool ist in fortschrittliche Software integriert, die branchenspezifisch konzipiert ist und zuverlässige Daten für Analyse und Reporting liefert. Mit einer intuitiven Benutzeroberfläche bündelt die Software eine effektive Datenverwaltung und SPC-Lösungen (Statistical Process Control). Es enthält auch SEMI-konforme Rezepte, die nützliche Berichte nach Branchenstandards erstellen helfen. TENCOR HRP 340 ist die ideale Wahl für die hochauflösende Inspektion von Halbleiterscheiben in Wafertests und messtechnischen Anwendungen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und Fähigkeiten machen es perfekt geeignet für fortgeschrittene Düsenebene Messtechnik und Charakterisierung, die Geschwindigkeit erhöht den Prozess der Wafer-Prüfung und Messtechnik.
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