Gebraucht KLA / TENCOR / ICOS T830 #9188177 zu verkaufen

KLA/TENCOR/ICOS T830 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um die physikalischen Eigenschaften einer Vielzahl von Geräten und Substraten schnell zu analysieren. Das System basiert auf der neuesten Generation der proprietären spektroskopischen Bildgebungs- und Messtechnologie, die einen hohen Durchsatz, eine hohe Genauigkeit und eine kostengünstige Inspektion und Messtechnik der fortschrittlichsten Halbleiterscheiben von heute ermöglicht. KLA T830 nutzt die Leistung der fortschrittlichen optischen Spektroskopie und Bildgebung, um die Detektierbarkeit von Hochgeschwindigkeitsdefekten, die Fehlerinspektion in 3D, die Overlay-Messung und eine Vielzahl spektroskopischer und bildgebender Algorithmen zu ermöglichen. Die integrierte Micro Imaging Unit (MIS) bietet eine 14-Bit-radiometrische Auflösung und ermöglicht es der Maschine, eine Vielzahl von Defekten und Partikeln auf dem Wafer schnell zu identifizieren. Das Werkzeug kann zur Messung und Fehlerinspektion an zwei Wafern gleichzeitig eingerichtet werden. Das Metrologie-Modul von ICOS T830 bietet eine integrierte, berührungslose Messtechnik für die optische kritische Dimension (CD) und umfasst erweiterte 3D-Mapping- und Autofokus-Funktionen. Die spezialisierte Messtechnik auf Nanometerebene ermöglicht es TENCOR- T830, kleine Ziele wie die auf Geräteknoten ohne zusätzliche Vorbereitung oder Kalibrierung genau zu messen. Das Modell kann auch für eine Vielzahl anderer messtechnischer Aufgaben wie Rauheit, Tiefe, Höhe, Schritthöhe und 3D-Profilmessung verwendet werden. Um rechtzeitige und genaue Ergebnisse zu gewährleisten, verfügt das Metrology-Modul auch über eine proprietäre AutoStage, die die Fokussierung intelligent vorantreibt, um schnell die genauesten Ergebnisse zu erzielen. T830 werden mehrere Funktionen zugeschrieben, die den Durchsatz und die Komplexität erhöhen. Seine fortschrittliche Optik ermöglicht eine schnelle Erfassung von Daten und seine automatisierte Verfolgung von bewegten Objekten verbessert die Wiederholbarkeit. Seine intelligente Software-Suite enthält eine algorithmische Steuerung einer Vielzahl von Parametern, einschließlich der Einführung von Korrekturalgorithmen, um die Verwendung mehrerer Prober zu optimieren und einen größeren Durchsatz bei weniger Nacharbeit zu ermöglichen. Die Fähigkeit von KLA/TENCOR/ICOS T830, mehrere Wafer pro Gerät zu verfolgen, erhöht den hohen Probendurchsatz drastisch. KLA T830 bietet eine leistungsstarke Kombination aus Geschwindigkeit, Genauigkeit und Benutzerfreundlichkeit, um sicherzustellen, dass Wafertests und messtechnische Anforderungen auf den modernsten Wafern erfüllt werden. Das System ist ein zuverlässiges Werkzeug, das hilft, die Grenzen der Genauigkeit und Komplexität zu verschieben und gleichzeitig schnelle, kostengünstige Ergebnisse zu liefern.