Gebraucht KLA / TENCOR / ICOS T830 #9188785 zu verkaufen

KLA/TENCOR/ICOS T830 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Halbleiterherstellung. Dieses Tool kombiniert Test, doppelseitiges Scannen und Inline-dimensionale Messtechnik in einer vollständig integrierten Plattform. Das System nutzt sowohl optische als auch elektrische Wafer-Testfunktionen für eine Vielzahl von Gerätetypen und liefert Anwendern zuverlässige und präzise Ergebnisse. Die KLA verwendet T830 eine geschlossene einstufige Vakuumabtasteinheit zur Bearbeitung von zwei Wafern gleichzeitig. Es ermöglicht Anwendern den schnellen Übergang zwischen den Wafergrößen und bietet einen verbesserten Durchsatz. Die Maschine bietet auch einseitige und kurze Wafer-Inspektionsmöglichkeiten. Neben seinen doppelseitigen Scanfunktionen bietet ICOS T830 einen umfassenden Satz optischer, elektrischer und dimensionaler Front- und Rückseitenmessungen. Mit seinem spezialisierten optischen Design können T830 hochauflösende Bilder von Wafern bis 24 "Durchmesser mit einem 5x reduzierenden optischen Werkzeug erhalten. Bei dieser Größe sind auch kleinste Merkmale wie Gruben oder Risse im Detail zu sehen. Das Asset nutzt auch die In-Plane-Imaging für die Fehlerabdeckung über ganze Stempeloberflächen, was dazu beiträgt, dass Fehler bei der Prüfung und Inspektion großer Substrate nicht fehlen. TENCOR T830 bietet eine Vielzahl von elektrischen Testoptionen, darunter Vierpunktkontakt, berührungsloser, Open-Short-Load-Test, Stromprüfung und eine Vielzahl anderer elektrischer Parametermessungen. Es verfügt über mehrere Messmechanismen, die mit speziellen Instrumenten zur Geräteisolierung und Spannungserkennung kombiniert werden können. Mit seiner integrierten dimensionalen Messtechnik kann es Düsengrößen, Dicken und Topologie sowie die Versätze der gleichen zwei Punkte zwischen verschiedenen Wafern messen. Neben seiner Test- und Messfunktion integriert KLA/TENCOR/ICOS T830 Datenmanagement- und Reporting-Funktionen. Alle vom Tool erfassten Systemdaten werden in einer sicheren Datenbank gespeichert, auf die autorisiertes Personal zugreifen kann. Berichte können in verschiedenen Formaten generiert und exportiert werden, sodass der Benutzer Ergebnisse überprüfen und analysieren kann. Insgesamt ist KLA T830 ein fortschrittliches Wafer-Test- und Metrologiemodell, das zuverlässige Ergebnisse liefert und gleichzeitig die Kosten und Komplexität der Halbleiterherstellung reduziert. Seine erweiterten Funktionen und Fähigkeiten machen es zu einem wertvollen Werkzeug für die Branche.