Gebraucht KLA / TENCOR / ICOS T830 #9218718 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9218718
Weinlese: 2016
Fully automatic optical inspection system
Inspection stage 1: IVC-4000 Camera
Inspection stage 2 & 3: IVC-25K Light resolution camera (Front and rear)
2016 vintage.
KLA/TENCOR/ICOS T830 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine hochpräzise, fortschrittliche Automatisierungslösung für das Halbleiter-Ertragsmanagement und die Charakterisierung der Prozessentwicklung. Das System ist mit einer hochauflösenden Kamera, einer motorisierten Probenstufe und einer vollautomatischen Substrathandhabungseinheit ausgestattet. Die Maschine ist in der Lage, simultane Messtechnik mit schnellem Durchsatz, Messungen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit der Ergebnisse bereitzustellen. Es bietet die Fähigkeit, Wafer-Eigenschaften schnell und präzise durch den Erwerb verschiedener Arten von physikalischen Eigenschaften zu messen. Das Tool ist mit hochauflösender digitaler Bildgebung und verbesserten Logik- und Steuerungssystemen für die Bildgebung komplexer Konstruktionsstrukturen mit hoher Genauigkeit ausgestattet. Es verfügt über eine integrierte Mustererkennung (PR) Fähigkeit, die Operatoren bei der zuverlässigen Analyse komplexer Substrate wie SOI (Silizium-on-Isolator) und BCB (Bisbenzocyclobuten) unterstützt. Das Asset verwendet eine Vielzahl von messtechnischen Methoden, wie spektroskopische Bildgebung, optische 2D- und 3D-Bildgebung, Streuung und dynamische Ellipsometrie, um verschiedene Eigenschaften zu messen. Es dient der Strukturierung der Charakterisierung, der Cross-Wafer-Die-Charakterisierung, der Fehlerort- und Isolationsanalyse, der Messung der Wafer-Grid-Parität und der geräteorientierten Bewertung. Mit der Integration von Analyse- und Messtechnik-Fähigkeiten ist das Modell in der Lage, leistungsstarke Ausbeute zu gewährleisten. Das System ist mit PCB (Leiterplatte) Inspektion und optische Inspektion und Messtechnik, die High-Fidelity-Bildgebung bietet ausgestattet. Es ist mit Modularität und Skalierbarkeit mit verbesserter Flexibilität, Genauigkeit und Durchsatz konzipiert. Seine Umweltschutzkomponenten erhöhen die Leistung und Stabilität des Geräts und sorgen für Wirtschaftlichkeit. Die Maschine ist mit einer intuitiven, interaktiven Softwareplattform integriert, die eine einheitliche, genaue und automatisierte Berichterstattung und Analyse ermöglicht. Seine aufgabenorientierte Programmierung ermöglicht eine schnelle Einrichtung von Prozessen und Analysen zur Merkmalserkennung. Dieses Tool wird auch mit einer Vielzahl von Anwendungen zur Unterstützung von Engineering und Services geliefert, die die Implementierung von Assets erleichtern. Abschließend ist KLA T830 Wafer Testing and Metrology Model eine fortschrittliche Automatisierungslösung, die speziell für das Halbleiterrenditemanagement und die Prozessentwicklung entwickelt wurde. Es ist mit einer hochauflösenden Kamera, einer motorisierten Probenstufe und einem vollautomatischen Substrathandhabungsgerät ausgestattet, wodurch es in der Lage ist, eine simultane Messtechnik mit schnellem Durchsatz, hochgenauen Messungen sowie Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit der Ergebnisse bereitzustellen. Darüber hinaus ist es mit einer intuitiven, interaktiven Softwareplattform integriert und wird mit einer Vielzahl von Support-Anwendungen für Engineering und Services geliefert.
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