Gebraucht KLA / TENCOR M 300 #9226127 zu verkaufen

KLA / TENCOR M 300
ID: 9226127
Wafergröße: 6"
RS Gauge, 6".
KLA/TENCOR M 300 Wafer-Test- und Messtechnik-Lösung ist eine fortschrittliche optische Bildgebungsplattform, die speziell für Fertigungs- und Prozesskontrollanwendungen entwickelt wurde. Unter Verwendung einzigartiger, patentierter Muster misst die Ausrüstung das elektrische Quantensignal von integrierten Wafern mit höchster Genauigkeit und Präzision. Die optischen Kopf- und Schrittmotorstufen der KLA M 300-Plattform ermöglichen eine großflächige Messung und hochauflösende Bildgebung über eine breite Palette von Defekten. Auf diese Weise können Mikrodefekte und Verunreinigungen - wie Staub und Hohlräume - präzise gescannt werden, was die Geräteleistung negativ beeinflussen kann. Es kann auch Prozessintegrationseinflüsse erkennen, die auftreten können, wenn Lithographievorgänge Geräteschicht (en) des ICs beeinflussen. Die bildgebenden Funktionen des Systems umfassen automatische Fehlerklassifizierung (ADC) und Inspektion und Überprüfung (I&R) für eine schnelle, umfassende Überprüfung und Übertragung von erfassten Bildern/Daten. Das Gerät kann Fehler von 10nm Größen und bis zu 3 σ Wiederholbarkeit erkennen. Darüber hinaus ist die Plattform sehr modular, so dass die Verwendung von mehreren kanalisierten Optikköpfen und hochmoderne Vollfeld-Bildgebung. TENCOR M 300 Plattform enthält auch mehrere Vorteile wie CoAr und doppelte Musteranwendungen. Die CoAr-Anwendungen ermöglichen eine schnelle Testzeit sowie eine hohe Scangenauigkeit zur Erkennung von Auswirkungen auf die Prozessintegration und Mikrofehler. Dies entspricht erhöhtem Durchsatz und monetären Einsparungen. Die Double-Patterning-Anwendung ist eine automatisierte, zweikanalige Fehlererkennungstechnik, die zwei separate Bereiche zur Inspektion eines einzelnen Wafers verwendet. Die Ausgabe von M 300 wird von der KLA AMPLEX Software verwaltet, da sie alle Bilder und zugehörigen Daten verarbeitet und speichert und so einen schnellen und einfachen Baseline-Vergleich ermöglicht. Darüber hinaus ist die Plattform für eine einfache Wartung ausgelegt und kann schnell und kostengünstig aufgerüstet werden. KLA/TENCOR M 300 Wafer-Test- und Messtechnik-Lösung ist eine hochmoderne Maschine, die sehr zuverlässig, zuverlässig und bietet Genauigkeit und Präzision in jeder Umgebung. Mit seiner beispiellosen Technologie und Fähigkeit ist es das perfekte Werkzeug, um Herstellbarkeit und Prozesskontrolle sicherzustellen.
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