Gebraucht KLA / TENCOR M-GAGE 200/300 #293652075 zu verkaufen

ID: 293652075
Film thickness measurement system.
KLA M-GAGE 200/300 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik für Sub-50nm-Prozesse. Es verfügt über eine führende Kante, optische Inspektionsplattform und eine innovative, siliziumerprobte, vertikale Scantechnologie. Dieses System ist mit einer 200 oder 300 mm automatischen Ladestation sowie einer erweiterten automatischen Ausrichtungsfunktion ausgestattet, die schnelle und effiziente Ergebnisse ermöglicht. Die in der Einheit verwendeten proprietären Sensoren bieten Benutzern eine hochauflösende Datenerfassungsfähigkeit. Die fortschrittliche Optik und der hochempfindliche Sensor gewährleisten eine minimale Fehlererkennung ohne falsch-positive Ergebnisse. Darüber hinaus bietet die Multi-Korrelator-Technologie eine beispiellose Ansicht und quantifizierbare Bewertung der Oberfläche eines Wafers. Das M-GAGE kann hochmoderne Defekte wie zufällige, Strichkantenrauhigkeiten und weit dispergierte Partikel identifizieren. Die Maschine verfügt über einen hohen Durchsatz, der bis zu 200 Wafer pro Stunde aufnehmen kann und die gängige Align-Check-Technologie beinhaltet, um die Testausrichtung schnell auszurichten. Dieses Werkzeug ist modular aufgebaut und bietet anpassbare Konfigurationen nach Kundenwunsch. Ein breites Spektrum an Prüf- und messtechnischen Aufgaben kann an Wafern durchgeführt werden, einschließlich Prozessoptimierung, Fokusebenenerkennung, Fehleranalyse und Kantenantwortanalyse. Die integrierte QualWafer-Software verwaltet alle Geräte- und Asset-Parameter und erstellt eine einfache Benutzeroberfläche, die schnell Tests durchführen kann. Darüber hinaus behält die Software einen strengen Audit-Trail, um Rückverfolgbarkeit und Batch-Kontrolle zu ermöglichen. Das leistungsstarke Modell TENCOR M-GAGE 200/300 ist ideal für Halbleiterhersteller, die zuverlässige, präzise und effiziente Wafertests und messtechnische Ergebnisse suchen. Mit seinem benutzerfreundlichen Design, der Hochleistungsoptik und der fortschrittlichen Multi-Korrelator-Technologie bietet die M-GAGE-Ausrüstung überlegene Datenintegrität und Produktivität.
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