Gebraucht KLA / TENCOR M-Gage 300 #293744534 zu verkaufen
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KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 ist eine vielseitige Prüf- und Messtechnik für Halbleiterhersteller. Dieses hochentwickelte System kombiniert fortschrittliche Messtechniken der KLA mit den leistungsstarken Funktionen von TENCOR automatisierten Wafer-Testfunktionen und PROMETRIX-Prozesssteuerungsfunktionen, wodurch es eine umfassende Reihe von Funktionen für die Halbleiterherstellung bietet. KLA M-Gage 300 wurde entwickelt, um die höchsten Anforderungen der modernsten Halbleitertechnologien zu erfüllen. Es verfügt über eine dreiachsige Waferstufe, eine automatisierte Waferausrichtung und eine 10.000-Watt-Testzelle mit einer breiten Breite von Wafergrößen. Die Waferstufe hat Mikron-Genauigkeit und verwendet fortgeschrittene Positionsgeber, um die Position jedes Wafers genau zu verfolgen. Es kann auch jede Wafergröße bis 200mm aufnehmen. Dieses Gerät ist auch in der Lage, bis zu 16 Wafer gleichzeitig zu testen. Die Maschine verwendet eine Reihe spezialisierter messtechnischer Werkzeuge, um die Geräteleistung wie ein Rasterelektronenmikroskop (SEM), eine Atomkraftmikroskopie (AFM) und ein Profilometer zu beurteilen. Das AFM ist mit einem hochauflösenden Bildgebungstool ausgestattet, um kritische Geräteparameter wie Linienbreite, Linienbreite und Kantenprofile auswerten zu können. Die SEM-Technologie wird verwendet, um Fehler auf der Waferoberfläche bis unter 10 nm zu erkennen. Darüber hinaus ermöglicht das Profilometer eine genaue Messung der Profilabmessungen bis hin zu einer Präzision von 0,2 Mikrometern. TENCOR M-Gage 300 verfügt auch über eine Reihe leistungsstarker Softwarefunktionen, die eine effiziente Verwaltung und Kontrolle während des Test- und Messtechnikprozesses ermöglichen. Dazu gehören die automatisierte Prozesssteuerung von KLA/TENCOR/PROMETRIX sowie eine umfassende Reporting-Software, mit der die Prozessleistung schnell erkannt und komplexe Testdaten charakterisiert werden können. Das Asset verfügt zudem über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die eine intuitive Bedienung der Funktionen des Modells ermöglicht. PROMETRIX M-Gage 300 ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die fortschrittliche messtechnische Fähigkeiten für einen Hochleistungs-Wafer-Herstellungsprozess bietet. Mit seinen breiten Breiten an Wafergrößen, seinen umfassenden Metrologiewerkzeugen und seinen intuitiven Softwarefunktionen ist dieses System ideal für jede Halbleiterherstellungsanlage.
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