Gebraucht KLA / TENCOR M-Gage 300 #293749862 zu verkaufen
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KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die leistungsstarke optische 3D-Profiler und patentierte Contact Image Sensor (CIS) -Technologien verwendet, um topographische Merkmale von Halbleiterscheiben während des Produktionsprozesses genau zu messen und zu analysieren. Das System ist hochautomatisiert und kann Hunderte von Standorten gleichzeitig messen, mit genauen Messungen auch stark dotierter Gerätestrukturen. Das Gerät ist auch in der Lage, Messungen in allen kritischen Dimensionen durchzuführen, was eine bessere Prozesskontrolle in der Waferfertigung ermöglicht. Die Grundeinheit der Maschine KLA M-Gage 300 ist ein Triple Sensor Head, der einen optischen 3D-Profiler, einen hochauflösenden Kontaktbildsensor und ein integriertes laserbasiertes Streumessgerät kombiniert. Diese drei Komponenten arbeiten zusammen, um eine beispiellose Genauigkeit bei quantitativen Messungen und Fehleranalysen zu gewährleisten. Das Werkzeug ist mit einer Reihe von Werkzeugen ausgestattet, die speziell für die Herstellung und Charakterisierung von Halbleiterscheiben entwickelt wurden, wie automatisierte Fehlerinspektion, Oberflächenqualitätsbewertung und Linienkantenprofile. TENCOR M-Gage 300 Asset bietet auch mehrere einzigartige und patentierte Technologien, wie UltraGage für die fortschrittliche 3D-Messung. Dieses Modell ist in der Lage, ultraschnelle 3D-Messungen durchzuführen, mit 10x schnelleren Messungen im Vergleich zu herkömmlichen Techniken. Es bietet auch eine proprietäre Enhanced Wafer Imaging Equipment, oder EWIS. Diese Technologie verwendet hochmotorisierte Laser, um die Oberfläche des Wafers zu inspizieren, ohne jemals tatsächlich physikalisch mit dem Wafer in Berührung zu kommen, was die Messungen der Oberfläche noch genauer und schneller ermöglicht. Neben diesen Merkmalen verfügt das System über zahlreiche produktivitätssteigernde Merkmale und lässt sich problemlos in andere Wafer-Fertigungssysteme integrieren. Die benutzerfreundliche GUI des Geräts hilft auch, Produktionszyklen zu rationalisieren. Das robuste Design macht PROMETRIX M-Gage 300 zu einer zuverlässigen Wahl für genaue Messungen und Fehleranalysen auch in anspruchsvollsten Produktionsumgebungen.
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