Gebraucht KLA / TENCOR M-Gage 300 #293830692 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die die Vorteile ihrer fortschrittlichen Technologien bietet. Dieses System kombiniert das Beste aus zwei bildgebenden Technologien mit dem Vorteil der Messtechnik mit hohem Durchsatz - eine Kombination aus optischen und streubasierten Scantechniken. Die optische Bildgebungstechnik ermöglicht eine hochauflösende Abbildung des Wafers bei einem Zoomwert von bis zu 3000x. Diese Einheit kombiniert auch optische Streutechniken mit Messtechnik mit hohem Durchsatz, um ein vollständiges Waferbild bereitzustellen, das Funktionen enthält, die zu klein sind, um durch herkömmliche optische Inspektion erkannt zu werden, was eine detaillierte Analyse der Fehlerquelle ermöglicht und zu einer schnelleren Prozesswiederherstellungszeit beiträgt. Die in KLA M-Gage 300 eingesetzten Streutechniken erlauben eine Fehlerabdeckungsrate von nur 0,5 Mikron. Diese Methode der Wafer-Prüfung und Messtechnik bietet auch einen hohen Durchsatz von 10k Wafern pro Stunde, was die Zykluszeiten im Vergleich zu anderen Systemen deutlich reduziert. Die Technologie des TENCOR M-Gage 300 ermöglicht auch verschiedene Arten von Inspektionen und Charakterisierung. Durch die Kombination von hochauflösenden Bildgebungs- und Streutechniken kann die Maschine verwendet werden, um Fehler aus den Epi- schichten zu erkennen, die Filmdicke zu messen und elektrische Tests und Charakterisierungen durchzuführen. Weitere Anwendungen sind: Fehler- und Leckage-Position, Gate-Oxid-Auswertung, Gate-Anwesenheit und elektrische Kontaktauswertung, sowie lokale und globale Wafer-Oberflächenanalyse. Die fortschrittliche Technologie von M-Gage 300 wird durch ihre Optik, die eine Reihe von asphärischen und telezentrischen Linsen und eine 20X Makro-Fokus-Linse kombiniert, die überlegene Bildaufnahmefunktionen. Das Beleuchtungswerkzeug verfügt über eine Gen6 Canon-Lichtquelle mit einem abtastenden galvanometrischen Spiegel, der eine gleichmäßige Beleuchtung und eine geringe Erwärmung bietet. Das Asset verfügt auch über eine AccuScale, die Wiederholbarkeit von 0,2 Mikron bei einer Zoomvergrößerung von 3000X bietet, und Daten mit Subpixelgenauigkeit. Die Fähigkeiten von PROMETRIX M-Gage 300 bieten die hochauflösende Bildgebung, die Messtechnik mit hohem Durchsatz und eine breite Palette von Testoptionen, die es zu einem leistungsstarken Werkzeug für effiziente Wafertests und Messtechnik machen.